| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 光瞳滤波式共焦显微测量技术的国内外研究现状 | 第11-18页 |
| 1.3 双折射光瞳滤波技术的国内外研究现状 | 第18-20页 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 双折射光瞳滤波器的设计 | 第21-41页 |
| 2.1 引言 | 第21-22页 |
| 2.2 光瞳滤波器的超分辨性能分析 | 第22-23页 |
| 2.3 双折射光瞳滤波器的设计 | 第23-33页 |
| 2.3.1 双折射光瞳滤波原理 | 第23-25页 |
| 2.3.2 双折射光瞳滤波器的优化设计 | 第25-33页 |
| 2.4 双折射光瞳滤波器的制作 | 第33-35页 |
| 2.5 双折射滤波器的改进 | 第35-40页 |
| 2.6 本章小结 | 第40-41页 |
| 第3章 双折射光瞳滤波式共焦显微成像系统的超分辨特性分析 | 第41-54页 |
| 3.1 引言 | 第41页 |
| 3.2 共焦显微成像理论及特性分析 | 第41-43页 |
| 3.3 双折射光瞳滤波式共焦系统的成像理论 | 第43-45页 |
| 3.4 双折射光瞳滤波式共焦系统的响应特性分析 | 第45-53页 |
| 3.4.1 系统横向分辨特性 | 第45-50页 |
| 3.4.2 系统轴向分辨特性 | 第50-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 双折射光瞳滤波式三维差动共焦成像 | 第54-62页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 差动共焦的成像理论及特性分析 | 第54-57页 |
| 4.3 双折射光瞳滤波式差动共焦系统的响应特性研究 | 第57-61页 |
| 4.3.1 双折射光瞳滤波式差动共焦系统成像理论 | 第57页 |
| 4.3.2 系统轴向分辨特性 | 第57-59页 |
| 4.3.3 系统横向分辨特性 | 第59-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 实验系统与实验结果分析 | 第62-82页 |
| 5.1 引言 | 第62页 |
| 5.2 双折射光瞳滤波式共焦显微系统实验研究 | 第62-76页 |
| 5.2.1 双折射光瞳滤波式共焦显微实验系统组成 | 第62-67页 |
| 5.2.2 系统横向响应特性实验及分析 | 第67-71页 |
| 5.2.3 系统轴向响应特性实验及分析 | 第71-76页 |
| 5.3 双折射光瞳滤波式三维差动共焦显微测量系统实验研究 | 第76-81页 |
| 5.3.1 双折射光瞳滤波式三维差动共焦显微测量实验系统组成 | 第76-77页 |
| 5.3.2 系统横向响应特性实验及分析 | 第77-79页 |
| 5.3.3 系统轴向响应特性实验及分析 | 第79-81页 |
| 5.4 本章小结 | 第81-82页 |
| 结论 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 附录 | 第88-89页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第89-91页 |
| 致谢 | 第91页 |
