SnO2乙醇传感器制备
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题背景与研究意义 | 第9页 |
| 1.2 气敏传感器的概述 | 第9-11页 |
| 1.2.1 气敏传感器的分类 | 第10页 |
| 1.2.2 气敏传感器的应用 | 第10-11页 |
| 1.3 薄膜材料的概述 | 第11-14页 |
| 1.3.1 薄膜的分类及其应用 | 第12-13页 |
| 1.3.2 SnO_2薄膜材料 | 第13-14页 |
| 1.4 SnO_2气敏传感器的研究进展 | 第14-17页 |
| 1.5 SnO_2气敏传感器的主要问题及研究方向 | 第17-18页 |
| 1.6 本课题的研究内容 | 第18页 |
| 1.7 本章小结 | 第18-20页 |
| 第2章 SnO_2乙醇传感器的制作 | 第20-29页 |
| 2.1 SnO_2乙醇传感器的工作原理 | 第20-23页 |
| 2.1.1 SnO_2气敏材料的导电机理 | 第20页 |
| 2.1.2 SnO_2气敏材料的吸附原理 | 第20-23页 |
| 2.2 SnO_2传感器结构设计 | 第23-28页 |
| 2.2.1 C 型硅杯的制备 | 第24-25页 |
| 2.2.2 光刻掩膜板 | 第25-26页 |
| 2.2.3 电极的制备 | 第26-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 SnO_2薄膜的制备与表征 | 第29-47页 |
| 3.1 薄膜的制备方法 | 第29-33页 |
| 3.1.1 磁控溅射法 | 第29-30页 |
| 3.1.2 水热法 | 第30页 |
| 3.1.3 溶胶凝胶（Sol-Gel）法 | 第30-32页 |
| 3.1.4 模板法 | 第32页 |
| 3.1.5 分子束外延（MBE） | 第32-33页 |
| 3.2 溶胶-凝胶法制备 SnO_2薄膜 | 第33-38页 |
| 3.2.1 试剂和仪器 | 第33-34页 |
| 3.2.2 衬底的预处理 | 第34页 |
| 3.2.3 SnO_2的合成 | 第34-35页 |
| 3.2.4 薄膜制备 | 第35-37页 |
| 3.2.5 掺杂剂的选择 | 第37-38页 |
| 3.3 SnO_2薄膜的表征 | 第38-41页 |
| 3.3.1 X 射线衍射测试（XRD） | 第38-40页 |
| 3.3.3 原子力显微镜（AFM） | 第40-41页 |
| 3.4 模板法制备 SnO_2中空球 | 第41-43页 |
| 3.4.1 实验试剂 | 第42页 |
| 3.4.2 衬底的预处理 | 第42页 |
| 3.4.3 制备过程 | 第42-43页 |
| 3.5 SnO_2中空球的表征 | 第43-46页 |
| 3.5.1 透射电子显微镜（TEM） | 第43-45页 |
| 3.5.2 原子力显微镜（AFM） | 第45-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 SnO_2乙醇传感器的测试与分析 | 第47-55页 |
| 4.1 SnO_2薄膜的特性分析 | 第47-51页 |
| 4.1.1 退火温度对 SnO_2薄膜的影响 | 第47-48页 |
| 4.1.2 SnO_2薄膜的灵敏度测试 | 第48-49页 |
| 4.1.3 SnO_2薄膜的选择性测试 | 第49页 |
| 4.1.4 SnO_2薄膜的重复性测试 | 第49-50页 |
| 4.1.5 SnO_2薄膜的响应和恢复时间测试 | 第50-51页 |
| 4.2 SnO_2中空球的特性分析 | 第51-54页 |
| 4.2.1 SnO_2中空球的灵敏度测试 | 第51-52页 |
| 4.2.2 SnO_2中空球的选择性测试 | 第52页 |
| 4.2.3 SnO_2中空球的重复性测试 | 第52-53页 |
| 4.2.4 SnO_2中空球的响应和恢复时间测试 | 第53-54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 附录 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第63页 |
