PECVD法制备多晶硅薄膜太阳能电池研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 太阳能电池的发展和现状 | 第9-15页 |
| 1.1.1 太阳能电池的研究背景 | 第9-10页 |
| 1.1.2 太阳能电池原理简介 | 第10-11页 |
| 1.1.3 太阳能电池的发展 | 第11-13页 |
| 1.1.4 太阳能电池的研究现状和发展趋势 | 第13-15页 |
| 1.2 本论文的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 金属诱导非晶硅晶化研究 | 第16-34页 |
| 2.1 金属诱导非晶硅薄膜晶化概述 | 第16-18页 |
| 2.2 实验方法和仪器简介 | 第18-20页 |
| 2.2.1 样品制备仪器 | 第18页 |
| 2.2.2 分析测试仪器 | 第18-20页 |
| 2.3 金属铝诱导非晶硅薄膜晶化 | 第20-25页 |
| 2.3.1 实验方法 | 第21-23页 |
| 2.3.2 退火温度对晶化的影响 | 第23-25页 |
| 2.4 锡诱导非晶硅晶化 | 第25-31页 |
| 2.4.1 实验方法 | 第26-27页 |
| 2.4.2 退火温度对晶化的影响 | 第27-31页 |
| 2.5 基于AIC制备多晶硅薄膜的初步研究 | 第31-33页 |
| 小结 | 第33-34页 |
| 第三章 浙江师范大学PECVD仪器设计和调试 | 第34-49页 |
| 3.1 等离子体化学相沉积系统简介 | 第34-37页 |
| 3.1.1 PECVD原理简介 | 第34-36页 |
| 3.1.2 PECVD沉积氢化非晶硅原理简介 | 第36-37页 |
| 3.2 浙江师范大学PECVD设计方案 | 第37-38页 |
| 3.3 PECVD4000型薄膜沉积系统介绍 | 第38-48页 |
| 3.3.1 非晶硅薄膜的主要制备工艺 | 第43-44页 |
| 3.3.2 非晶硅薄膜材料的结构 | 第44-45页 |
| 3.3.3 非晶硅薄膜材料的电学特性 | 第45-48页 |
| 小结 | 第48-49页 |
| 第四章 硅基薄膜太阳能电池的初步研究 | 第49-52页 |
| 4.1. PIN结构非晶硅薄膜太阳能电池原理简介 | 第49-50页 |
| 4.2 初步制备PIN结构非晶硅薄膜太阳能电池 | 第50-51页 |
| 小结 | 第51-52页 |
| 第五章 工作总结及展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 研究生期间的主要工作 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
