聚合物波导光互连耦合器的设计
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 光互连研究的背景与意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外光互连研究进展和展望 | 第12-14页 |
| 1.3 本文主要工作及章节安排 | 第14-16页 |
| 第二章 光波导理论分析 | 第16-21页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 平面波导理论 | 第16-17页 |
| 2.2.1 麦克斯韦方程和亥姆霍兹方程基本理论 | 第16-17页 |
| 2.3 矩形波导理论 | 第17-20页 |
| 2.4 本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 光电混合电路板结构设计和耦合接口研究 | 第21-28页 |
| 3.1 器件的整体结构及仿真示意图 | 第21-24页 |
| 3.2 波导斜面的设计与实现 | 第24-25页 |
| 3.3 镀膜理论分析和斜面镀膜的实现 | 第25-27页 |
| 3.4 圆柱耦合器的设计与实现 | 第27页 |
| 3.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第四章 矩形聚合物光波导的设计及制作工艺 | 第28-35页 |
| 4.1 引言 | 第28页 |
| 4.2 聚合物波导材料 | 第28-29页 |
| 4.3 掩膜版结构设计及波导制作工艺流程 | 第29-34页 |
| 4.3.1 矩形波导掩膜版设计 | 第29-30页 |
| 4.3.2 圆柱波导掩膜版设计 | 第30-31页 |
| 4.3.3 波导结构制作工艺流程 | 第31-34页 |
| 4.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第五章 光波导器件测试及损耗分析 | 第35-57页 |
| 5.1 引言 | 第35页 |
| 5.2 波导器件实验图片及通光测试数据 | 第35-46页 |
| 5.2.1 矩形波导的制作与测试 | 第35-38页 |
| 5.2.2 矩形波导45°斜面的制作与测试分析 | 第38-41页 |
| 5.2.3 矩形波导45°斜面镀膜前测试分析 | 第41-42页 |
| 5.2.4 矩形波导45°斜面镀膜后实验图片 | 第42-45页 |
| 5.2.5 带圆柱耦合器的矩形波导的制作及测试 | 第45-46页 |
| 5.3 波导器件测试结果计算以及损耗分析 | 第46-56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第57-59页 |
| 6.1 全文总结 | 第57-58页 |
| 6.2 课题展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
