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小量程高精度石英挠性摆式加速度计关键方法研究

摘要第9-10页
ABSTRACT第10-11页
第一章 绪论第12-20页
    1.1 本课题背景及意义第12-13页
    1.2 课题研究现状第13-18页
        1.2.1 航空重力测量技术发展现状第13-14页
        1.2.2 高精度加速度计发展现状第14-16页
        1.2.3 石英挠性摆式加速度计发展现状第16-18页
    1.3 论文研究目标和组织结构第18-20页
        1.3.1 研究目标第18-19页
        1.3.2 研究内容及结构第19-20页
第二章 石英挠性摆式加速度计基础理论第20-30页
    2.1 石英挠性摆式加速度计的基本结构第20-27页
        2.1.1 加速度计摆组件第20-21页
        2.1.2 加速度计位置传感器第21-23页
        2.1.3 加速度计力矩器第23页
        2.1.4 加速度计伺服电路第23-27页
    2.2 石英挠性摆式加速度计的测量原理第27-28页
    2.3 石英挠性摆式加速度计的数学模型第28-29页
    2.4 本章小结第29-30页
第三章 石英挠性摆式加速度计误差模型及具体影响因素分析第30-40页
    3.1 石英挠性摆式加速度计的误差模型第30-35页
        3.1.1 加速度计标度因数的非线性误差第30-31页
        3.1.2 加速度计标度因子的稳定性误差第31-32页
        3.1.3 沿摆轴的加速度造成交叉耦合误差第32页
        3.1.4 加速度计的偏值误差第32-33页
        3.1.5 加速度计偏值稳定性分析第33-35页
    3.2 影响石英挠性摆式加速度计性能具体因素分析第35-39页
        3.2.1 加速度计表头影响因素分析第35-36页
        3.2.2 加速度计伺服电路影响因素分析第36-38页
        3.2.3 加速度计加工装配影响因素分析第38-39页
    3.3 本章小节第39-40页
第四章 石英挠性摆式加速度计小量程设计第40-56页
    4.1 增大电流标度因数第40-48页
        4.1.1 减小工作间隙磁感应强度第41-43页
        4.1.2 增大摆片质量第43-45页
        4.1.3 增大线圈质量第45-47页
        4.1.4 减小线圈有效长度第47-48页
    4.2 减小石英挠性梁的刚度第48-50页
    4.3 加速度计结构改进设计参数及计算第50-53页
        4.3.1 加速度计结构改进设计参数第50页
        4.3.2 加速度计结构改进验证计算第50-53页
    4.4 摆组件仿真验证第53-55页
        4.4.1 建立摆组件有限元模型第53-54页
        4.4.2 摆组件静力学分析第54-55页
    4.5 本章小结第55-56页
第五章 石英挠性摆式加速度计高精度改进设计第56-76页
    5.1 提高加速度计分辨率的方法第56-58页
    5.2 加速度计磁钢材料的选择第58-59页
    5.3 加速度计的加工技术设计第59-65页
        5.3.1 石英挠性梁表面粗糙度检测实验第59-63页
        5.3.2 分步刻蚀法第63-64页
        5.3.3 深反应离子刻蚀法第64-65页
    5.4 力矩器磁路改进前后对比仿真验证第65-71页
        5.4.1 改进之前的力矩器磁路仿真第65-68页
        5.4.2 改进之后的力矩器磁路仿真第68-71页
        5.4.3 仿真结果对比第71页
    5.5 重力场标定实验第71-74页
        5.5.1 实验原理第71-72页
        5.5.2 实验方法第72页
        5.5.3 实验结果及分析第72-74页
    5.6 本章小结第74-76页
第六章 总结与展望第76-78页
    6.1 论文总结第76-77页
    6.2 研究展望第77-78页
致谢第78-79页
参考文献第79-82页
作者在学期间取得的学术成果第82页

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