| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-25页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 B-C-N材料的发展现状 | 第11-23页 |
| 1.2.1 B-C-N的理论研究 | 第11-13页 |
| 1.2.1.1 六方结构 | 第11-12页 |
| 1.2.1.2 立方结构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 B-C-N薄膜的制备技术 | 第13-22页 |
| 1.2.2.1 CVD法制备B-C-N薄膜 | 第14-16页 |
| 1.2.2.2 PVD法制备B-C-N薄膜 | 第16-22页 |
| 1.2.3 B-C-N薄膜的成分与结构 | 第22-23页 |
| 1.2.4 B-C-N薄膜的力学性能 | 第23页 |
| 1.3 本论文的提出、研究目的及研究内容 | 第23-25页 |
| 第2章 实验与测试 | 第25-32页 |
| 2.1 实验原料 | 第25-27页 |
| 2.2 实验设备 | 第27-28页 |
| 2.3 实验设计与工艺过程 | 第28-29页 |
| 2.4 测试原理与方法 | 第29-32页 |
| 2.4.1 物相分析 | 第29页 |
| 2.4.2 断面及表面形貌观察 | 第29页 |
| 2.4.3 成分及键结构测试 | 第29-30页 |
| 2.4.4 力学性能测试 | 第30-32页 |
| 第3章 氮气压力对B-C-N薄膜结构和力学性能的影响 | 第32-48页 |
| 3.1 引言 | 第32-33页 |
| 3.2 氮气压力对B-C-N薄膜的的影响 | 第33-47页 |
| 3.2.1 氮气压力对B-C-N薄膜沉积速率的影响 | 第33-34页 |
| 3.2.2 氮气压力对B-C-N薄膜表面形貌的影响 | 第34-36页 |
| 3.2.3 氮气压力对B-C-N薄膜结构的影响 | 第36-42页 |
| 3.2.3.1 B-C-N薄膜的键合状态 | 第36-39页 |
| 3.2.3.2 B-C-N薄膜键结构的演变规律 | 第39-42页 |
| 3.2.4 氮气压力对B-C-N薄膜成分的影响 | 第42-43页 |
| 3.2.5 氮气压力对B-C-N薄膜力学性能的影响 | 第43-47页 |
| 3.3 小结 | 第47-48页 |
| 第4章 衬底温度对B-C-N薄膜结构和力学性能的影响 | 第48-62页 |
| 4.1 引言 | 第48-49页 |
| 4.2 衬底温度对B-C-N薄膜的影响 | 第49-60页 |
| 4.2.1 衬底温度对B-C-N薄膜沉积速率的影响 | 第49-50页 |
| 4.2.2 衬底温度对B-C-N薄膜表面形貌的影响 | 第50-52页 |
| 4.2.3 衬底温度对B-C-N薄膜结构的影响 | 第52-56页 |
| 4.2.3.1 B-C-N薄膜的键合状态 | 第52-54页 |
| 4.2.3.2 B-C-N薄膜键结构的演变规律 | 第54-56页 |
| 4.2.4 衬底温度对B-C-N薄膜成分的影响 | 第56-58页 |
| 4.2.5 衬底温度对B-C-N薄膜力学性能的影响 | 第58-60页 |
| 4.3 小结 | 第60-62页 |
| 第5章 激光能量密度对B-C-N薄膜结构和力学性能的影响 | 第62-75页 |
| 5.1 引言 | 第62-63页 |
| 5.2 激光能量密度对B-C-N薄膜的的影响 | 第63-74页 |
| 5.2.1 激光能量密度对B-C-N薄膜厚度的影响 | 第63-64页 |
| 5.2.2 激光能量密度对B-C-N薄膜表面形貌的影响 | 第64-66页 |
| 5.2.3 激光能量密度对B-C-N薄膜结构的影响 | 第66-70页 |
| 5.2.3.1 B-C-N薄膜的键合状态 | 第66-68页 |
| 5.2.3.2 B-C-N薄膜键结构的演变规律 | 第68-70页 |
| 5.2.4 激光能量密度对B-C-N薄膜成分的影响 | 第70-72页 |
| 5.2.5 激光能量密度对B-C-N薄膜力学性能的影响 | 第72-74页 |
| 5.3 小结 | 第74-75页 |
| 第6章 结论 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第82页 |
