| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 飞秒激光简介 | 第10-11页 |
| 1.3 飞秒激光微加工的特点及应用 | 第11-14页 |
| 1.3.1 脉冲峰值功率极高 | 第12页 |
| 1.3.2 热效应较小 | 第12-13页 |
| 1.3.3 可加工的材料较多 | 第13-14页 |
| 1.4 飞秒激光诱导硅表面微结构的研究进展 | 第14-17页 |
| 1.5 本论文的研究目的和创新点 | 第17页 |
| 1.6 本论文的结构安排 | 第17-19页 |
| 2 硅表面微结构 | 第19-25页 |
| 2.1 硅的性质及表面微结构的应用 | 第19-20页 |
| 2.2 表面微结构对硅表面光学特性的影响机理 | 第20-24页 |
| 2.2.1 表面周期结构对硅片表面光学特性的影响机理 | 第20-23页 |
| 2.2.2 表面纳米结构对硅片表面光学特性的影响机理 | 第23-24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 实验装置 | 第25-31页 |
| 3.1 飞秒激光微加工系统 | 第25-27页 |
| 3.1.1 飞秒激光系统 | 第25-26页 |
| 3.1.2 微加工系统 | 第26-27页 |
| 3.2 硅表面形貌特征的表征 | 第27-28页 |
| 3.3 反射光谱的测试与分析方法 | 第28-30页 |
| 3.3.1 反射光谱测试装置 | 第28-29页 |
| 3.3.2 测试结果的分析方法 | 第29-30页 |
| 3.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 4 微结构形状对硅片表面相对反射率的影响 | 第31-41页 |
| 4.1 实验材料 | 第31页 |
| 4.2 实验过程 | 第31-32页 |
| 4.2.1 样品的预处理 | 第31页 |
| 4.2.2 刻蚀 | 第31-32页 |
| 4.2.3 测试与表征 | 第32页 |
| 4.2.4 数据分析 | 第32页 |
| 4.3 飞秒激光在硅片表面诱导不同形状微结构的表征与分析 | 第32-40页 |
| 4.3.1 相对反射率与微结构周期的关系 | 第35-38页 |
| 4.3.2 相对反射率与微结构形状的关系 | 第38-40页 |
| 4.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 5 飞秒激光诱导硅表面圆锥状微结构研究 | 第41-50页 |
| 5.1 实验过程与刻蚀方法 | 第41页 |
| 5.2 飞秒激光诱导硅表面圆锥状微结构 | 第41-43页 |
| 5.3 圆锥状微结构的大面积制备 | 第43-46页 |
| 5.4 圆锥状微结构表面的光学特性 | 第46-49页 |
| 5.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 6 总结与展望 | 第50-52页 |
| 6.1 总结 | 第50-51页 |
| 6.2 展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-58页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
