| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 综述 | 第9-21页 |
| 1.1 研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 研究目的 | 第9页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-19页 |
| 1.2.1 非光学的测量方法 | 第10-11页 |
| 1.2.2 激光干涉法 | 第11-19页 |
| 1.2.3 小结 | 第19页 |
| 1.3 论文研究内容及组织结构 | 第19-21页 |
| 第二章 法布里-珀罗干涉快速换模锁相原理及系统设计 | 第21-36页 |
| 2.1 法-珀激光干涉位移测量和换模锁相原理 | 第21-24页 |
| 2.1.1 法-珀激光干涉位移测量原理 | 第21-23页 |
| 2.1.2 换模锁相原理 | 第23-24页 |
| 2.2 关键技术 | 第24-26页 |
| 2.2.1 锁相放大原理 | 第24-26页 |
| 2.2.2 工作激光器的移频 | 第26页 |
| 2.3 整体系统的搭建 | 第26-34页 |
| 2.3.1 碘稳频激光器 | 第26-27页 |
| 2.3.2 F-P腔的设计 | 第27-28页 |
| 2.3.3 F-P腔及其光路系统的搭建 | 第28-31页 |
| 2.3.4 纳米定位平台 | 第31页 |
| 2.3.5 光强信号与拍频信号的测量 | 第31-33页 |
| 2.3.6 锁相放大器的设置 | 第33-34页 |
| 2.4 测量系统的误差分析 | 第34-35页 |
| 2.4.1 安装引入的误差 | 第34页 |
| 2.4.2 环境因素引起的误差 | 第34-35页 |
| 2.5 小结 | 第35-36页 |
| 第三章 信号处理及软件设计 | 第36-49页 |
| 3.1 信号采集处理 | 第36-41页 |
| 3.1.1 光强信号的采集和处理 | 第36-40页 |
| 3.1.2 拍频信号的采集和处理 | 第40-41页 |
| 3.2 计算机控制软件的整体设计 | 第41-48页 |
| 3.2.1 初始化模块 | 第42-44页 |
| 3.2.2 PI-753 运动控制模块 | 第44页 |
| 3.2.3 锁定控制模块 | 第44-47页 |
| 3.2.4 数据分析处理模块 | 第47页 |
| 3.2.5 显示保存模块 | 第47-48页 |
| 3.3 小结 | 第48-49页 |
| 第四章 实验以及结果分析 | 第49-65页 |
| 4.1 AD采集卡校准实验 | 第49-51页 |
| 4.2 拍频稳定性测试实验 | 第51-52页 |
| 4.3 PI-753 纳米定位平台性能测试实验 | 第52-53页 |
| 4.4 光强极大值间距测量实验 | 第53-55页 |
| 4.5 光强半峰宽测量实验 | 第55-56页 |
| 4.6 大小数整合实验 | 第56-58页 |
| 4.7 与商用激光干涉仪的比对实验 | 第58-62页 |
| 4.8 测量结果不确定度的评定 | 第62-64页 |
| 4.8.1 干涉级次变化量的不确定度u1 | 第63页 |
| 4.8.2 激光频率变化量的不确定度u2 | 第63页 |
| 4.8.3 自由光谱范围的不确定度u3 | 第63页 |
| 4.8.4 环境因素等引入的不确定度u4 | 第63页 |
| 4.8.5 仪器设备误差引入的不确定度 | 第63-64页 |
| 4.8.6 标准不确定度u的合成 | 第64页 |
| 4.9 小结 | 第64-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 5.1 论文工作总结 | 第65-66页 |
| 5.2 展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |