| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7页 |
| 序言 | 第8-11页 |
| 1 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 MEMS简介 | 第11-13页 |
| 1.1.1 MEMS技术的发展历程 | 第11-12页 |
| 1.1.2 MEMS技术的特点 | 第12-13页 |
| 1.1.3 MEMS技术的发展及展望 | 第13页 |
| 1.2 微加热器 | 第13-18页 |
| 1.2.1 微加热器的工作机理 | 第14-15页 |
| 1.2.2 微加热器的结构类型及研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第18-19页 |
| 2 微加热器的理论分析与设计 | 第19-23页 |
| 2.1 微加热器的设计目的 | 第19页 |
| 2.2 微加热器结构设计 | 第19页 |
| 2.3 微加热器材料选取 | 第19-20页 |
| 2.4 微加热器版图设计 | 第20-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 3 微加热器的有限元模拟 | 第23-31页 |
| 3.1 建模准备 | 第23页 |
| 3.2 建模步骤 | 第23-25页 |
| 3.2.1 创建几何模型,并设定各部分的材料 | 第23-24页 |
| 3.2.2 划分网格 | 第24-25页 |
| 3.2.3 设定物理条件并计算 | 第25页 |
| 3.3 仿真结果分析 | 第25-30页 |
| 3.3.1 基底材料分析 | 第25-26页 |
| 3.3.2 不同微加热器之间的对比 | 第26-29页 |
| 3.3.3 仿真误差分析 | 第29-30页 |
| 3.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 4 微加热器的制作工艺 | 第31-35页 |
| 4.1 工艺设备 | 第31页 |
| 4.2 工艺流程 | 第31-33页 |
| 4.3 工艺结果 | 第33-34页 |
| 4.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 5 微加热器的性能测试及其应用 | 第35-56页 |
| 5.1 用于绑定的PCB版设计 | 第35-36页 |
| 5.2 微加热器性能测试 | 第36-39页 |
| 5.2.1 设计电阻与实际电阻对比 | 第36页 |
| 5.2.2 温度传感器TCR标定实验(以R35为例) | 第36-37页 |
| 5.2.3 升温和降温实验 | 第37-39页 |
| 5.3 热泳沉淀实验 | 第39-51页 |
| 5.3.1 热泳沉淀原理 | 第39页 |
| 5.3.2 颗粒物热泳沉淀运动的研究进展 | 第39-40页 |
| 5.3.3 颗粒的热泳沉淀实验的设计与仿真 | 第40-49页 |
| 5.3.4 热泳沉淀实验测试 | 第49-51页 |
| 5.4 流量传感器实验 | 第51-55页 |
| 5.4.1 实验方案 | 第51-53页 |
| 5.4.2 实验结果分析 | 第53-55页 |
| 5.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 6 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 作者简历及攻读硕士 /博士学位期间取得的研究成果 | 第60-62页 |
| 学位论文数据集 | 第62页 |