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MEMS微型加热器的设计及应用研究

致谢第5-6页
摘要第6-7页
ABSTRACT第7页
序言第8-11页
1 绪论第11-19页
    1.1 MEMS简介第11-13页
        1.1.1 MEMS技术的发展历程第11-12页
        1.1.2 MEMS技术的特点第12-13页
        1.1.3 MEMS技术的发展及展望第13页
    1.2 微加热器第13-18页
        1.2.1 微加热器的工作机理第14-15页
        1.2.2 微加热器的结构类型及研究现状第15-18页
    1.3 本文的主要研究内容第18-19页
2 微加热器的理论分析与设计第19-23页
    2.1 微加热器的设计目的第19页
    2.2 微加热器结构设计第19页
    2.3 微加热器材料选取第19-20页
    2.4 微加热器版图设计第20-22页
    2.5 本章小结第22-23页
3 微加热器的有限元模拟第23-31页
    3.1 建模准备第23页
    3.2 建模步骤第23-25页
        3.2.1 创建几何模型,并设定各部分的材料第23-24页
        3.2.2 划分网格第24-25页
        3.2.3 设定物理条件并计算第25页
    3.3 仿真结果分析第25-30页
        3.3.1 基底材料分析第25-26页
        3.3.2 不同微加热器之间的对比第26-29页
        3.3.3 仿真误差分析第29-30页
    3.4 本章小结第30-31页
4 微加热器的制作工艺第31-35页
    4.1 工艺设备第31页
    4.2 工艺流程第31-33页
    4.3 工艺结果第33-34页
    4.5 本章小结第34-35页
5 微加热器的性能测试及其应用第35-56页
    5.1 用于绑定的PCB版设计第35-36页
    5.2 微加热器性能测试第36-39页
        5.2.1 设计电阻与实际电阻对比第36页
        5.2.2 温度传感器TCR标定实验(以R35为例)第36-37页
        5.2.3 升温和降温实验第37-39页
    5.3 热泳沉淀实验第39-51页
        5.3.1 热泳沉淀原理第39页
        5.3.2 颗粒物热泳沉淀运动的研究进展第39-40页
        5.3.3 颗粒的热泳沉淀实验的设计与仿真第40-49页
        5.3.4 热泳沉淀实验测试第49-51页
    5.4 流量传感器实验第51-55页
        5.4.1 实验方案第51-53页
        5.4.2 实验结果分析第53-55页
    5.5 本章小结第55-56页
6 结论第56-57页
参考文献第57-60页
作者简历及攻读硕士 /博士学位期间取得的研究成果第60-62页
学位论文数据集第62页

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