| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-30页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 基于TiO_2的透明导电薄膜(TCOs) | 第12-20页 |
| 1.2.1 透明导电薄膜(TCOs)的发展历程 | 第12-15页 |
| 1.2.2 TiO_2薄膜的性能特点 | 第15-17页 |
| 1.2.3 透明导电薄膜的制备方法 | 第17-19页 |
| 1.2.4 透明导电薄膜的应用 | 第19-20页 |
| 1.3 掺杂TiO_2薄膜的研究现状 | 第20-27页 |
| 1.3.1 TiO_2:M(M-Nb,Ta)薄膜用于TCOs材料的研究现状 | 第20-22页 |
| 1.3.2 气氛退火对TiO_2:M(M=Nb,Ta)薄膜性能的改善 | 第22-25页 |
| 1.3.3 掺杂TiO_2做为透明导电薄膜的理论可行性研究 | 第25-26页 |
| 1.3.4 溶胶凝胶法制备掺杂TiO_2基TCOs材料的研究进展和目前存在的问题 | 第26-27页 |
| 1.4 论文的研究内容与研究意义 | 第27-30页 |
| 1.4.1 论文的研究内容 | 第27-28页 |
| 1.4.2 论文的研究意义 | 第28-30页 |
| 第二章 实验与测试 | 第30-40页 |
| 2.1 实验原料 | 第30-31页 |
| 2.2 实验设备 | 第31页 |
| 2.3 样品制备 | 第31-33页 |
| 2.3.1 衬底清洗 | 第31-32页 |
| 2.3.2 配置溶胶 | 第32页 |
| 2.3.3 制备薄膜 | 第32-33页 |
| 2.4 材料的表征 | 第33-40页 |
| 2.4.1 热分析 | 第33页 |
| 2.4.2 结构表征 | 第33-35页 |
| 2.4.3 形貌表征 | 第35页 |
| 2.4.4 成分和价态表征 | 第35-37页 |
| 2.4.5 电学表征 | 第37-39页 |
| 2.4.6 光学表征 | 第39-40页 |
| 第三章 溶胶配置及退火工艺对TiO_2:Nb薄膜结晶性影响的研究 | 第40-56页 |
| 3.1 镀膜工艺对TiO_2:Nb薄膜结晶性影响的研究 | 第40-46页 |
| 3.1.1 溶胶浓度对TiO_2:Nb薄膜结晶性影响的研究 | 第40-45页 |
| 3.1.2 旋涂次数对TiO_2:Nb薄膜结晶性影响的研究 | 第45-46页 |
| 3.2 退火工艺制度对TiO_2:Nb薄膜结构与性能影响规律的研究 | 第46-54页 |
| 3.2.1 退火温度对TiO_2:Nb薄膜结晶性影响的研究 | 第46-51页 |
| 3.2.2 多重退火与单重退火的比较 | 第51-53页 |
| 3.2.3 退火冷却速度对TiO_2薄膜结晶性影响的研究 | 第53-54页 |
| 3.3 本章小结 | 第54-56页 |
| 第四章 掺杂浓度对TiO_2薄膜结构和光电性能的影响 | 第56-78页 |
| 4.1 掺杂浓度对薄膜微观结构的影响 | 第56-65页 |
| 4.1.1 Nb离子掺杂浓度对薄膜微观结构的影响 | 第56-61页 |
| 4.1.2 Ta离子掺杂浓度对薄膜微观结构的影响 | 第61-65页 |
| 4.2 掺杂浓度对薄膜电学性能的影响 | 第65-68页 |
| 4.2.1 Nb离子掺杂浓度对薄膜电阻率及载流子浓度、载流子迁移率的影响 | 第65-67页 |
| 4.2.2 Ta离子掺杂浓度对薄膜电阻率及载流子浓度、载流子迁移率的影响 | 第67-68页 |
| 4.3 离子掺杂浓度对薄膜光学性能的影响 | 第68-74页 |
| 4.3.1 Nb离子掺杂浓度对薄膜可见光透过率、光学参数的影响 | 第68-71页 |
| 4.3.2 Ta离子掺杂浓度对薄膜可见光透过率、光学参数的影响 | 第71-74页 |
| 4.4 离子掺杂效率的评估 | 第74-77页 |
| 4.5 本章小结 | 第77-78页 |
| 第五章 退火气氛对TiO_2:Ta薄膜结构与性能影响规律的研究 | 第78-94页 |
| 5.1 TiO_2:Ta薄膜在氢气气氛退火下性能的调控 | 第78-82页 |
| 5.2 TiO_2:Ta薄膜在其余气氛退火下性能的调控 | 第82-91页 |
| 5.2.1 退火气氛对TiO_2:Ta薄膜晶体结构的影响 | 第82-83页 |
| 5.2.2 退火气氛对TiO_2:Ta薄膜晶体形貌的影响 | 第83-89页 |
| 5.2.3 退火气氛对TiO2:Ta薄膜电学性能的影响 | 第89页 |
| 5.2.4 退火气氛对TiO_2:Ta薄膜光学性能的影响 | 第89-91页 |
| 5.3 氧空位浓度的表征方法 | 第91-92页 |
| 5.4 本章小结 | 第92-94页 |
| 第六章 总结与展望 | 第94-97页 |
| 参考文献 | 第97-103页 |
| 致谢 | 第103-104页 |
| 个人简历 | 第104-105页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文和所取得的成果 | 第105页 |
