| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 ECR离子源简述 | 第10页 |
| 1.2 高温炉研究背景与意义 | 第10-14页 |
| 1.3 本文主要内容 | 第14-16页 |
| 第2章 ECR离子源及金属蒸气的获取 | 第16-38页 |
| 2.1 多电荷态ECR离子源 | 第16-24页 |
| 2.1.1 ECR离子源中的磁镜场 | 第16-18页 |
| 2.1.2 ECR离子源中的微波加热 | 第18-19页 |
| 2.1.3 多电荷态离子的产生 | 第19-21页 |
| 2.1.4 多电荷态离子的引出 | 第21-23页 |
| 2.1.5 ECR离子源的关键技术 | 第23-24页 |
| 2.2 金属离子的产生方法 | 第24-35页 |
| 2.2.1 电阻加热式高温炉 | 第24-28页 |
| 2.2.2 电子束加热蒸发炉[23] | 第28-30页 |
| 2.2.3 直接等离子体加热法 | 第30页 |
| 2.2.4 等离子体溅射法 | 第30-32页 |
| 2.2.5 MIVOC (Metallic Ion from Volatile Compounds) | 第32-34页 |
| 2.2.6 激光熔融技术 | 第34-35页 |
| 2.3 高温探测方法 | 第35-36页 |
| 2.3.1 钨铼热电偶 | 第35页 |
| 2.3.2 红外线测温仪 | 第35-36页 |
| 2.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 第3章 直流加热高温炉结构设计及ANSYS模拟 | 第38-52页 |
| 3.1 直流加热电阻炉的结构设计 | 第38-42页 |
| 3.1.1 传统方案 | 第38-41页 |
| 3.1.2 IMP方案 | 第41-42页 |
| 3.2 直流加热电阻炉温度、热应力及洛伦兹力模拟 | 第42-50页 |
| 3.2.1 ANSYS软件简介 | 第42页 |
| 3.2.2 直流加热电阻炉温度模拟 | 第42-45页 |
| 3.2.3 直流加热电阻炉热应力模拟 | 第45页 |
| 3.2.4 直流加热电阻炉所受洛伦兹力分析 | 第45-50页 |
| 3.3 本章小结 | 第50-52页 |
| 第4章 高温炉离线测试与在线测试 | 第52-72页 |
| 4.1 高温炉离线测试 | 第52-64页 |
| 4.1.1 直流加热电阻炉离线测试 | 第52-58页 |
| 4.1.2 高频加热感应炉离线测试 | 第58-61页 |
| 4.1.3 电子束加热蒸发炉离线测试 | 第61-63页 |
| 4.1.4 高温炉离线测试小结 | 第63-64页 |
| 4.2 高温炉在线测试 | 第64-70页 |
| 4.2.1 ECR离子源平台简介 | 第64-65页 |
| 4.2.2 电子束加热蒸发炉在LECR 4离子源平台上的在线测试 | 第65-66页 |
| 4.2.3 传统方案直流加热电阻炉在SECRAL2离子源平台上的测试 | 第66-70页 |
| 4.3 本章小结 | 第70-72页 |
| 第5章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第78页 |
