| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题背景 | 第10-12页 |
| 1.1.1 国内半导体产业的发展趋势 | 第10-11页 |
| 1.1.2 半导体设备国产化的需求现状 | 第11-12页 |
| 1.1.3 研究意义 | 第12页 |
| 1.2 伺服电机系统概述 | 第12-15页 |
| 1.2.1 伺服系统的构成要素 | 第12-14页 |
| 1.2.2 伺服的性能评价 | 第14页 |
| 1.2.3 伺服电机的国内外发展与现状 | 第14-15页 |
| 1.3 PLC梯形图编程概述 | 第15-17页 |
| 1.3.1 PLC梯形图的基本概念 | 第15页 |
| 1.3.2 安川PLC梯形图的简介 | 第15-17页 |
| 1.4 论文主要内容和结构安排 | 第17-18页 |
| 第2章 控制程序设计的改进 | 第18-33页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 分选机控制系统简介 | 第18-19页 |
| 2.3 程序框架的搭建 | 第19-26页 |
| 2.3.1 结构层次化设计 | 第20-23页 |
| 2.3.2 控制模块化设计 | 第23-26页 |
| 2.4 运动模型的设计 | 第26-32页 |
| 2.4.1 基于"动作标记"的顺序模型 | 第26-28页 |
| 2.4.2 基于"移位判断"的选择模型 | 第28-30页 |
| 2.4.3 基于"缓冲处理"的并行模型 | 第30-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 系统运动性能的优化 | 第33-45页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 伺服参数的调整 | 第33-37页 |
| 3.2.1 PID控制原理 | 第33-34页 |
| 3.2.2 手动调整伺服参数 | 第34-37页 |
| 3.3 精度控制 | 第37-40页 |
| 3.3.1 电子齿轮比设定 | 第37-38页 |
| 3.3.2 制振控制 | 第38-39页 |
| 3.3.3 齿隙误差补偿 | 第39-40页 |
| 3.4 速度控制 | 第40-44页 |
| 3.4.1 电机运行速度的优化处理 | 第40-42页 |
| 3.4.2 时序控制对运行速度的影响 | 第42-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 系统控制功能的升级 | 第45-58页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 运动轨迹的实时可控 | 第45-49页 |
| 4.3 运行安全保护机制 | 第49-57页 |
| 4.3.1 安全保护 | 第49-52页 |
| 4.3.2 故障检测与异常处理 | 第52-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 多通道通信接口的设计 | 第58-68页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 安川MP系列控制器为从站时的两种通信方式 | 第58-59页 |
| 5.2.1 使用自动接收功能通信 | 第58-59页 |
| 5.2.2 使用自编MSG-RCV函数的梯形图程序通信 | 第59页 |
| 5.3 多通道通信实现的基础与方法 | 第59-61页 |
| 5.3.1 多传送缓冲器通道机制 | 第60页 |
| 5.3.2 以MSG-RCV函数为控制核心的设计方法 | 第60-61页 |
| 5.4 接口程序的设计与实现 | 第61-65页 |
| 5.4.1 PLC通信模块的配置 | 第61-62页 |
| 5.4.2 上位机通信接口设计 | 第62-64页 |
| 5.4.3 下位机通信接口设计 | 第64-65页 |
| 5.5 通信速度的分析 | 第65-66页 |
| 5.6 本章小结 | 第66-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第74页 |