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高纯硒化氢合成工艺研究

摘要第4-5页
Abstract第5页
引言第8-9页
1 绪论第9-23页
    1.1 研究背景第9-15页
        1.1.1 信息产业中集成电路领域硒化氢的应用第9-15页
        1.1.2 国内外相关研究概况及发展趋势第15页
    1.2 硒化氢的性质第15-17页
        1.2.1 硒化氢的物理性质第15-16页
        1.2.2 硒化氢的化学性质第16-17页
        1.2.3 硒化氢的毒性危害第17页
    1.3 硒化氢的制备方法第17-19页
        1.3.1 硒化物与水合成法第17-18页
        1.3.2 硒与石蜡或其他高沸点烃类合成法第18页
        1.3.3 硒化锌与酸反应合成法第18页
        1.3.4 Sonoda法制备硒化氢第18页
        1.3.5 硒与氢气直接合成法第18-19页
    1.4 高纯硒化氢的制备第19-21页
        1.4.1 吸附剂的选择第19-20页
        1.4.2 容器处理第20页
        1.4.3 硒化氢纯化注意事项第20-21页
    1.5 课题选择第21-22页
        1.5.1 研究思路第21-22页
        1.5.2 研究内容第22页
    1.6 相关分析计算方法第22-23页
2 硒化氢合成实验第23-33页
    2.1 硒化氢的生产原料及分析设备第23-24页
        2.1.1 化学试剂及特种气体第23-24页
        2.1.2 仪器设备第24页
    2.2 硒化氢的生产装置工艺第24-30页
        2.2.1 硒化氢生产工艺流程设计图第24-26页
        2.2.2 硒化氢生产装置实物图第26-27页
        2.2.3 硒化氢的合成第27-29页
        2.2.4 硒化氢的生产指标第29-30页
    2.3 硒化氢安全生产以及环境保护设计第30-32页
        2.3.1 硒化氢安全生产设计第30-31页
        2.3.2 硒化氢生产过程中环境保护设计第31-32页
    2.4 小结第32-33页
3 高纯度硒化氢的提纯制备及分析第33-51页
    3.1 硒化氢杂质种类及含量的确定第33-35页
    3.2 硒化氢纯化工艺的设计第35-36页
    3.3 硒化氢中固体颗粒物的脱除第36-37页
    3.4 硒化氢中水的脱除研究第37-39页
    3.5 硒化氢中硫化氢的脱除研究第39-40页
    3.6 硒化氢中除硫化氢外其他气体杂质的脱除研究第40-50页
        3.6.1 硒化氢中一氧化碳/甲烷/二氧化碳的吸附脱除第40-42页
        3.6.2 硒化氢中氧/氮的吸附脱除第42-43页
        3.6.3 硒化氢中氢/氧化亚氮的吸附脱除第43-44页
        3.6.4 硒化氢中氢/氧/氮的吸附脱除第44-49页
        3.6.5 硒化氢吸附系统第49-50页
    3.7 小结第50-51页
4 高纯度硒化氢生产工艺的进一步开发以及前景展望第51-53页
    4.1 高纯度硒化氢生产工艺的完善开发第51页
    4.2 高纯度电子气产品的开发应用以及市场预测第51-53页
结论第53-54页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第54-55页
参考文献第55-57页
致谢第57-58页

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