| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 1 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-15页 |
| 1.1.1 信息产业中集成电路领域硒化氢的应用 | 第9-15页 |
| 1.1.2 国内外相关研究概况及发展趋势 | 第15页 |
| 1.2 硒化氢的性质 | 第15-17页 |
| 1.2.1 硒化氢的物理性质 | 第15-16页 |
| 1.2.2 硒化氢的化学性质 | 第16-17页 |
| 1.2.3 硒化氢的毒性危害 | 第17页 |
| 1.3 硒化氢的制备方法 | 第17-19页 |
| 1.3.1 硒化物与水合成法 | 第17-18页 |
| 1.3.2 硒与石蜡或其他高沸点烃类合成法 | 第18页 |
| 1.3.3 硒化锌与酸反应合成法 | 第18页 |
| 1.3.4 Sonoda法制备硒化氢 | 第18页 |
| 1.3.5 硒与氢气直接合成法 | 第18-19页 |
| 1.4 高纯硒化氢的制备 | 第19-21页 |
| 1.4.1 吸附剂的选择 | 第19-20页 |
| 1.4.2 容器处理 | 第20页 |
| 1.4.3 硒化氢纯化注意事项 | 第20-21页 |
| 1.5 课题选择 | 第21-22页 |
| 1.5.1 研究思路 | 第21-22页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第22页 |
| 1.6 相关分析计算方法 | 第22-23页 |
| 2 硒化氢合成实验 | 第23-33页 |
| 2.1 硒化氢的生产原料及分析设备 | 第23-24页 |
| 2.1.1 化学试剂及特种气体 | 第23-24页 |
| 2.1.2 仪器设备 | 第24页 |
| 2.2 硒化氢的生产装置工艺 | 第24-30页 |
| 2.2.1 硒化氢生产工艺流程设计图 | 第24-26页 |
| 2.2.2 硒化氢生产装置实物图 | 第26-27页 |
| 2.2.3 硒化氢的合成 | 第27-29页 |
| 2.2.4 硒化氢的生产指标 | 第29-30页 |
| 2.3 硒化氢安全生产以及环境保护设计 | 第30-32页 |
| 2.3.1 硒化氢安全生产设计 | 第30-31页 |
| 2.3.2 硒化氢生产过程中环境保护设计 | 第31-32页 |
| 2.4 小结 | 第32-33页 |
| 3 高纯度硒化氢的提纯制备及分析 | 第33-51页 |
| 3.1 硒化氢杂质种类及含量的确定 | 第33-35页 |
| 3.2 硒化氢纯化工艺的设计 | 第35-36页 |
| 3.3 硒化氢中固体颗粒物的脱除 | 第36-37页 |
| 3.4 硒化氢中水的脱除研究 | 第37-39页 |
| 3.5 硒化氢中硫化氢的脱除研究 | 第39-40页 |
| 3.6 硒化氢中除硫化氢外其他气体杂质的脱除研究 | 第40-50页 |
| 3.6.1 硒化氢中一氧化碳/甲烷/二氧化碳的吸附脱除 | 第40-42页 |
| 3.6.2 硒化氢中氧/氮的吸附脱除 | 第42-43页 |
| 3.6.3 硒化氢中氢/氧化亚氮的吸附脱除 | 第43-44页 |
| 3.6.4 硒化氢中氢/氧/氮的吸附脱除 | 第44-49页 |
| 3.6.5 硒化氢吸附系统 | 第49-50页 |
| 3.7 小结 | 第50-51页 |
| 4 高纯度硒化氢生产工艺的进一步开发以及前景展望 | 第51-53页 |
| 4.1 高纯度硒化氢生产工艺的完善开发 | 第51页 |
| 4.2 高纯度电子气产品的开发应用以及市场预测 | 第51-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |