| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 图表目录 | 第11-15页 |
| 1 引言 | 第15-33页 |
| 1.1 研究背景 | 第15-17页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第17-31页 |
| 1.2.1 探针法 | 第18-21页 |
| 1.2.2 相位测量法 | 第21-24页 |
| 1.2.3 哈特曼波前探测法 | 第24-25页 |
| 1.2.4 干涉测量法 | 第25-30页 |
| 1.2.5 研究现状小结 | 第30-31页 |
| 1.3 课题来源和研究内容 | 第31-33页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第31页 |
| 1.3.2 本文主要研究内容 | 第31-33页 |
| 2 基于点源阵列的倾斜波面非零位干涉系统的研制 | 第33-69页 |
| 2.1 倾斜波面非零位干涉检测原理 | 第33-35页 |
| 2.2 基于点源阵列的倾斜波面非零位干涉系统的设计方法 | 第35-44页 |
| 2.2.1 系统光学结构参数数学模型的建立 | 第35-42页 |
| 2.2.2 数学模型的最优算法及评价指标 | 第42-44页 |
| 2.3 系统关键器件的设计与研制 | 第44-66页 |
| 2.3.1 激光器 | 第45-47页 |
| 2.3.2 点源发生器 | 第47-60页 |
| 2.3.3 准直透镜组和球面补偿透镜组 | 第60-66页 |
| 2.4 系统的实验验证 | 第66-68页 |
| 2.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 3 光学自由曲面面形的重构及评价方法 | 第69-94页 |
| 3.1 计算生成虚拟波面技术(CGW) | 第69-80页 |
| 3.1.1 倾斜波面非零位干涉系统光线追迹模型的建立 | 第69-77页 |
| 3.1.2 CGW技术的仿真程序与验证 | 第77-80页 |
| 3.2 基于微扰理论的光学自由曲面面形重构方法 | 第80-89页 |
| 3.2.1 微扰理论及哈密尔顿特征函数 | 第80-84页 |
| 3.2.2 消除回程误差的自由曲面面形重构算法 | 第84-89页 |
| 3.3 光学自由曲面面形重构及评价方法的仿真实验及精度验证 | 第89-92页 |
| 3.4 本章小结 | 第92-94页 |
| 4 基于点源阵列的倾斜波面非零位干涉系统的系统误差标定 | 第94-106页 |
| 4.1 系统误差标定的目的 | 第94页 |
| 4.2 多位标准凸球非零位反射标定法的原理 | 第94-98页 |
| 4.3 系统误差标定实验及结果 | 第98-105页 |
| 4.4 本章小结 | 第105-106页 |
| 5 倾斜波面非零位干涉系统的应用实验及精度验证 | 第106-118页 |
| 5.1 自由曲面被测件空间姿态的定位方法 | 第106-114页 |
| 5.1.1 自由曲面位置误差对测量结果的影响分析 | 第106-110页 |
| 5.1.2 基于虚拟莫尔条纹的自由曲面被测件定位方法 | 第110-114页 |
| 5.2 倾斜波面非零位干涉系统的测量应用及精度验证 | 第114-117页 |
| 5.3 本章小结 | 第117-118页 |
| 6 总结与展望 | 第118-121页 |
| 6.1 全文总结 | 第118-120页 |
| 6.2 本文主要创新点 | 第120页 |
| 6.3 展望 | 第120-121页 |
| 致谢 | 第121-123页 |
| 参考文献 | 第123-135页 |
| 附录 | 第135-138页 |
