摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5页 |
目录 | 第6-8页 |
第1章 绪论 | 第8-15页 |
1.1 课题研究背景 | 第8页 |
1.2 蓝宝石晶体生长技术的研究现状 | 第8-11页 |
1.3 泡生法蓝宝石晶体生长的数值模拟分析 | 第11-13页 |
1.4 本文的主要研究内容 | 第13-15页 |
第2章 泡生法模拟的数学物理模型 | 第15-26页 |
2.1 泡生法晶体生长的物理模型 | 第16-17页 |
2.2 泡生法晶体生长物理模型的数学描述 | 第17-19页 |
2.2.1 系统整体热交换 | 第17页 |
2.2.2 结晶前沿的热传递与质量传递 | 第17-18页 |
2.2.3 非透明蓝宝石晶体内部辐射热传递 | 第18-19页 |
2.3 CGSim 数值模拟过程 | 第19-25页 |
2.3.1 模型简化及材料参数 | 第19-20页 |
2.3.2 模拟过程简介 | 第20-25页 |
2.4 本章小结 | 第25-26页 |
第3章 泡生法生长炉内部结构对热场的影响 | 第26-47页 |
3.1 上隔热屏对热场的影响 | 第27-32页 |
3.1.1 对流场和温度场 | 第27-28页 |
3.1.2 温度梯度 | 第28-29页 |
3.1.3 Von Mises 应力 | 第29-32页 |
3.2 下隔热屏对热场的影响 | 第32-35页 |
3.2.1 对流场和温度场 | 第32-33页 |
3.2.2 温度梯度 | 第33页 |
3.2.3 Von Mises 应力 | 第33-35页 |
3.3 侧面隔热屏对热场的影响 | 第35-38页 |
3.3.1 对流场和温度场 | 第35-36页 |
3.3.2 温度梯度 | 第36页 |
3.3.3 Von Mises 应力 | 第36-38页 |
3.4 加热器与坩埚位置对蓝宝石单晶生长热场的影响 | 第38-42页 |
3.4.1 对流场和温度场 | 第38-40页 |
3.4.2 温度梯度 | 第40页 |
3.4.3 Von Mises 应力 | 第40-42页 |
3.5 功率分配对蓝宝石单晶生长热场的影响 | 第42-45页 |
3.5.1 对流场和温度场 | 第42-43页 |
3.5.2 温度梯度 | 第43-44页 |
3.5.3 Von Mises 应力 | 第44-45页 |
3.6 本章小结 | 第45-47页 |
第4章 泡生法 85kg 级蓝宝石单晶生长炉的改进与实验验证 | 第47-62页 |
4.1 泡生法 85kg 级蓝宝石生长现状分析 | 第47-50页 |
4.1.1 生长炉结构以及生长参数介绍 | 第47-48页 |
4.1.2 目前 85kg 蓝宝石生长失败的原因分析 | 第48-50页 |
4.2 生长炉改进前后热场比较 | 第50-59页 |
4.2.1 对流场与温度场比较 | 第51-53页 |
4.2.2 温度梯度比较 | 第53-57页 |
4.2.3 Von Mises 应力比较 | 第57-59页 |
4.3 泡生法 85kg 蓝宝石单晶生长 CGSim 数值模拟的实验验证 | 第59-61页 |
4.3.1 实验步骤 | 第59-60页 |
4.3.2 实验结果 | 第60-61页 |
4.4 本章小结 | 第61-62页 |
结论 | 第62-64页 |
参考文献 | 第64-69页 |
致谢 | 第69页 |