| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·薄膜及其研究背景 | 第9-10页 |
| ·薄膜生长的计算机模拟方法 | 第10-13页 |
| ·第一性原理分子动力学方法 | 第10-11页 |
| ·分子动力学方法 | 第11-12页 |
| ·动力学蒙特卡罗方法 | 第12-13页 |
| ·计算机模拟薄膜生长的研究进展 | 第13-14页 |
| ·本文的主要内容及安排 | 第14-16页 |
| 2 薄膜生长理论及模拟方法的应用 | 第16-26页 |
| ·薄膜生长理论 | 第16-22页 |
| ·沉积原子的吸附过程 | 第17-18页 |
| ·原子的脱附过程 | 第18-19页 |
| ·原子的扩散过程 | 第19-21页 |
| ·三维生长的模式 | 第21-22页 |
| ·模拟方法在薄膜生长过程中的应用 | 第22-24页 |
| ·模拟方法的应用 | 第22-23页 |
| ·模拟的基本思想 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-26页 |
| 3 动力学Monte Carlo模拟纳米团簇的形成 | 第26-39页 |
| ·模型的建立 | 第26-28页 |
| ·基底和边界条件 | 第27页 |
| ·扩散模型 | 第27-28页 |
| ·模拟过程和程序流程图 | 第28-30页 |
| ·论分析 | 第30-31页 |
| ·数值模拟结果和讨论 | 第31-38页 |
| ·原子间相互作用能对薄膜形貌的影响 | 第31-34页 |
| ·温度对薄膜形貌的影响 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 动力学Monte Carlo模拟活性剂诱导外延生长 | 第39-47页 |
| ·表面活性剂 | 第39-40页 |
| ·表层活性剂外延生长 | 第40-42页 |
| ·模型建立 | 第42-43页 |
| ·模拟结果 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 结论 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |