| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题研究背景以及意义 | 第8-10页 |
| 1.1.1 课题背景 | 第8-9页 |
| 1.1.2 课题研究目的与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 微机械谐振器件中的气体阻尼与其研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.1 气体阻尼的分类与研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 亟待解决的问题 | 第12页 |
| 1.3 本文的主要研究内容和创新点 | 第12-13页 |
| 1.3.1 本文的创新点 | 第12页 |
| 1.3.2 本文的主要研究内容 | 第12-13页 |
| 1.4 本章小结 | 第13-14页 |
| 第二章 微机械谐振器的挤压膜阻尼机理 | 第14-23页 |
| 2.1 挤压膜阻尼的产生机理与主要研究方法 | 第14-15页 |
| 2.1.1 挤压膜阻尼的产生机理 | 第14页 |
| 2.1.2 空气挤压膜阻尼的研究方法 | 第14-15页 |
| 2.2 影响挤压膜阻尼的因素以及雷诺方程 | 第15-16页 |
| 2.2.1 影响挤压膜阻尼效应的因素 | 第15页 |
| 2.2.2 可压缩气体的非线性雷诺方程 | 第15-16页 |
| 2.2.3 可压缩气体的线性雷诺方程 | 第16页 |
| 2.2.4 不可压缩气体的线性雷诺方程 | 第16页 |
| 2.3 几种典型的挤压膜阻尼模型 | 第16-22页 |
| 2.3.1 Bao等关于穿孔矩形微板的挤压膜阻尼模型 | 第16-18页 |
| 2.3.2 Pan等关于刚性扭转矩形微板的挤压膜阻尼模型 | 第18-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 穿孔扭转矩形微谐振器件挤压膜阻尼机理与模型 | 第23-38页 |
| 3.1 具有对称扭转轴的穿孔微谐振器件的挤压膜阻尼模型 | 第23-30页 |
| 3.1.1 运动微分方程 | 第24-25页 |
| 3.1.2 基于双正弦级数法的挤压膜阻尼模型 | 第25-27页 |
| 3.1.3 基于傅里叶正弦级数法的挤压膜阻尼模型 | 第27-30页 |
| 3.2 具有非对称扭转轴的穿孔微谐振器件的挤压膜阻尼模型 | 第30-37页 |
| 3.2.1 运动微分方程 | 第30-32页 |
| 3.2.2 基于双正弦级数法的挤压膜阻尼模型 | 第32-34页 |
| 3.2.3 基于傅里叶正弦级数法的挤压膜阻尼模型 | 第34-37页 |
| 3.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 挤压膜阻尼理论结果与有限元数值结果的比较与分析 | 第38-64页 |
| 4.1 具有对称扭转轴的穿孔微谐振器件挤压膜阻尼理论解与数值解的比较分析 | 第38-52页 |
| 4.1.1 挤压膜阻尼有限元数值模型的建立 | 第38-42页 |
| 4.1.2 穿孔比对气体挤压膜阻尼的影响 | 第42-44页 |
| 4.1.3 解析模型频率适用范围的讨论 | 第44-46页 |
| 4.1.4 振动频率对气体挤压膜阻尼的影响 | 第46-48页 |
| 4.1.5 器件板厚对气体挤压膜阻尼的影响 | 第48-50页 |
| 4.1.6 气体间隙厚度对挤压膜阻尼的影响 | 第50-52页 |
| 4.2 具有非对称扭转轴的穿孔微谐振器件挤压膜阻尼理论模型与有限元模型的对比分析 | 第52-62页 |
| 4.2.1 挤压膜阻尼的有限元数值模型的建立 | 第52-53页 |
| 4.2.2 穿孔比对气体挤压膜阻尼的影响 | 第53-55页 |
| 4.2.3. 解析模型频率适用范围的讨论 | 第55-57页 |
| 4.2.4 振动频率对气体挤压膜阻尼的影响 | 第57-59页 |
| 4.2.5 器件板厚对气体挤压膜阻尼的影响 | 第59-60页 |
| 4.2.6 气体问隙厚度对挤压膜阻尼的影响 | 第60-62页 |
| 4.3 结论 | 第62-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 论文总结 | 第64页 |
| 5.2 不足之处 | 第64-65页 |
| 5.3 工作展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 附录A 对称扭转穿孔板挤压膜阻尼相关计算程序 | 第70-78页 |
| 附录B 非对称扭转穿孔板挤压膜阻尼相关计算程序 | 第78-85页 |
