纯相位光学防伪掩膜设计与优化研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状综述 | 第11-14页 |
| 1.3 本文研究的主要内容 | 第14-16页 |
| 第2章 纯相位光学防伪掩膜的设计基础 | 第16-24页 |
| 2.1 标量衍射理论 | 第16-21页 |
| 2.1.1 惠更斯-菲涅耳原理 | 第16-17页 |
| 2.1.2 基尔霍夫衍射公式 | 第17-19页 |
| 2.1.3 两种基本的衍射 | 第19-20页 |
| 2.1.4 基于DOE的衍射积分模型 | 第20-21页 |
| 2.2 迭代相位恢复算法 | 第21-23页 |
| 2.2.1 振幅和相位恢复问题 | 第21-23页 |
| 2.2.2 迭代算法 | 第23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 纯相位光学防伪掩膜的设计与制作 | 第24-35页 |
| 3.1 纯相位光学防伪掩膜的特点 | 第24-25页 |
| 3.2 传统纯相位光学防伪掩膜设计方法 | 第25-34页 |
| 3.2.1 GS算法 | 第26-30页 |
| 3.2.2 POCS算法简介 | 第30-34页 |
| 3.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 协同进化遗传算法 | 第35-48页 |
| 4.1 传统的遗传算法 | 第35-39页 |
| 4.1.1 遗传算法的基本概念 | 第35-36页 |
| 4.1.2 遗传算法的基本原理 | 第36-37页 |
| 4.1.3 遗传算法的仿真结果及分析 | 第37-39页 |
| 4.2 GA-GS算法 | 第39-42页 |
| 4.2.1 GA-GS算法的基本原理 | 第39-40页 |
| 4.2.2 GA-GS算法的仿真结果及分析 | 第40-42页 |
| 4.3 基于遗传算法改进的CGA-GS算法 | 第42-44页 |
| 4.4 计算机仿真结果及分析 | 第44-47页 |
| 4.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 改进的模拟退火算法 | 第48-61页 |
| 5.1 传统的模拟退火算法 | 第48-52页 |
| 5.1.1 模拟退火算法的基本概念 | 第48-50页 |
| 5.1.2 模拟算法的基本原理 | 第50-51页 |
| 5.1.3 模拟退火算法的仿真结果及分析 | 第51-52页 |
| 5.2 SA-GS算法 | 第52-55页 |
| 5.2.1 SA-GS算法的基本原理 | 第52-54页 |
| 5.2.2 SA-GS算法的仿真结果及分析 | 第54-55页 |
| 5.3 改进的模拟退火算法 | 第55-56页 |
| 5.4 计算机仿真结果及分析 | 第56-59页 |
| 5.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读学位期间公开发表论文 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 作者简介 | 第67页 |
