| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 序言 | 第9-29页 |
| ·等离子体概述 | 第9-15页 |
| ·等离子体的性质 | 第10-13页 |
| ·等离子体的分类 | 第13-14页 |
| ·等离子体的研究方法 | 第14-15页 |
| ·交流放电等离子体的生成方法 | 第15-20页 |
| ·单频容性耦合等离子体放电（CCP） | 第15-17页 |
| ·螺旋波等离子体源（HWP） | 第17-18页 |
| ·感性耦合等离子体放电（ICP） | 第18-19页 |
| ·双频容性耦合等离子体放电（DF-CCP） | 第19-20页 |
| ·低气压容性耦合等离子体概况 | 第20-22页 |
| ·单频激发的容性耦合等离子体的行为 | 第20-21页 |
| ·双射频激发的容性耦合等离子体的行为 | 第21-22页 |
| ·低温等离子体诊断技术 | 第22-27页 |
| ·质谱技术 | 第23-25页 |
| ·光学诊断技术 | 第25-26页 |
| ·静电探针诊断技术 | 第26-27页 |
| ·本文的研究内容 | 第27-29页 |
| 第二章 容性耦合放电实验装置及其诊断技术 | 第29-34页 |
| ·容性耦合等离子体实验装置 | 第29-30页 |
| ·等离子体双探针诊断技术 | 第30-34页 |
| 第三章 单频容性耦合等离子体参数的测量 | 第34-46页 |
| ·不同放电参数条件下电子温度和电子密度的测量 | 第34-41页 |
| ·不同激发频率下电子温度随放电功率和放电气压的变化关系 | 第35-38页 |
| ·不同激发频率下电子密度随放电功率和放电气压的变化关系 | 第38-41页 |
| ·激发频率、放电气压和射频功率对功率电极自偏压的影响 | 第41-46页 |
| 第四章 双频容性耦合等离子体电学特性测量 | 第46-55页 |
| ·双频输入功率对电子密度的影响 | 第47-48页 |
| ·双频输入功率对自偏压的影响 | 第48-55页 |
| 第五章 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
