| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| ·微细加工技术 | 第8-9页 |
| ·微立体光刻技术 | 第9-13页 |
| ·线扫描微立体光刻技术 | 第9-11页 |
| ·面投影微立体光刻技术 | 第11-12页 |
| ·面投影微立体光刻技术的优点 | 第12-13页 |
| ·DMD 动态掩膜面投影微立体光刻技术的研究进展 | 第13-15页 |
| ·本文的研究目标和主要研究内容 | 第15-17页 |
| 参考文献 | 第17-20页 |
| 第二章 基于DMD 动态掩膜微立体光刻系统设计的基本原理 | 第20-27页 |
| ·掩膜产生的基本原理 | 第20-23页 |
| ·DMD 的基本结构 | 第20-21页 |
| ·DMD 的工作原理 | 第21-23页 |
| ·DMD 的特点 | 第23页 |
| ·光固化的基本原理 | 第23-25页 |
| ·光固化的类型及机理 | 第23-24页 |
| ·树脂的特性—工作曲线 | 第24-25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 文献参考 | 第26-27页 |
| 第三章 微立体光刻系统的设计与搭建 | 第27-44页 |
| ·系统设计原理 | 第27-28页 |
| ·系统的组成 | 第28-33页 |
| ·光源 | 第29页 |
| ·光路准直 | 第29-30页 |
| ·掩膜发生器DMD 的安装 | 第30-31页 |
| ·投影镜头 | 第31页 |
| ·树脂槽 | 第31-33页 |
| ·涂覆系统 | 第33页 |
| ·系统对焦方法 | 第33-34页 |
| ·基于AutoCAD 的CAD 模型直接分层切片方法 | 第34-37页 |
| ·直接分层切片代码 | 第35-36页 |
| ·分层切片说明 | 第36-37页 |
| ·加工系统程序 | 第37-41页 |
| ·WRITE SCRIPT2.0.vi | 第37-39页 |
| ·系统控制程序 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-44页 |
| 第四章 系统的分辨率研究 | 第44-59页 |
| ·影响加工分辨率因素的分析 | 第44页 |
| ·光学系统分辨率 | 第44-47页 |
| ·调制传递函数 | 第44-45页 |
| ·测量过程与结果 | 第45-47页 |
| ·固化材料 | 第47-49页 |
| ·粘度测量 | 第49页 |
| ·树脂工作曲线的测量 | 第49-52页 |
| ·测量原理 | 第49-50页 |
| ·测量方法和步骤 | 第50-51页 |
| ·测量结果 | 第51-52页 |
| ·树脂特性对系统加工横向分辨率的影响 | 第52-54页 |
| ·系统的分辨率 | 第54-55页 |
| ·氧气对树脂固化的影响 | 第55-56页 |
| ·初步加工实验 | 第56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 第五章 总结 | 第59-61页 |
| ·本文讨论的主要内容 | 第59页 |
| ·尚且存在的问题 | 第59-60页 |
| ·下一步的研究方向 | 第60-61页 |
| 攻读硕士期间公开发表的论文 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |