| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 热电材料的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 课题的研究动机及实验方案 | 第13-16页 |
| 第二章 热电原理及应用 | 第16-24页 |
| 2.1 热电原理 | 第16-18页 |
| 2.1.1 热电现象 | 第16页 |
| 2.1.2 Seebeck效应 | 第16-17页 |
| 2.1.3 Petier效应 | 第17-18页 |
| 2.1.4 Thomson效应 | 第18页 |
| 2.2 热电效应的应用 | 第18-21页 |
| 2.2.1 温差发电机 | 第18-19页 |
| 2.2.2 热电制冷器 | 第19-21页 |
| 2.3 热电材料性能提高的方法 | 第21-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-24页 |
| 第三章 Bi/Te多层薄膜的制备及表征技术 | 第24-42页 |
| 3.1 Bi/Te多层薄膜制备方法 | 第24-27页 |
| 3.2 Bi/Te多层薄膜制备流程 | 第27-36页 |
| 3.2.1 基片清洗 | 第27-29页 |
| 3.2.2 薄膜制各 | 第29-33页 |
| 3.2.3 薄膜退火 | 第33-36页 |
| 3.3 Bi/Te多层薄膜参数测量 | 第36-40页 |
| 3.3.1 Seebeck系数测量 | 第36-37页 |
| 3.3.2 霍尔效应测量 | 第37-39页 |
| 3.3.3 XRD测量 | 第39-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 Bi/Te多层薄膜热电性能及物相分析 | 第42-52页 |
| 4.1 XRD物相分析 | 第42-43页 |
| 4.2 薄膜热电性能分析 | 第43-50页 |
| 4.2.1 热电薄膜振荡特性分析 | 第43-46页 |
| 4.2.2 Seebeck系数与载流子浓度关系分析 | 第46-47页 |
| 4.2.3 载流子浓度变化分析 | 第47-48页 |
| 4.2.4 载流子迁移率及电导率变化趋势分析 | 第48-49页 |
| 4.2.5 功率因数变化趋势分析 | 第49-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-52页 |
| 第五章 热电器件结构设计 | 第52-66页 |
| 5.1 热电器件结构选择 | 第52-59页 |
| 5.2 器件结构参数分析 | 第59-65页 |
| 5.3 本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 热电器件工艺流程初探 | 第66-76页 |
| 6.1 工艺实现方法 | 第66-67页 |
| 6.2 掩膜版的绘制与制作 | 第67-69页 |
| 6.3 热电器件的工艺流程实现 | 第69-74页 |
| 6.4 本章小结 | 第74-76页 |
| 第七章 结论 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-84页 |
| 发表论文和参加科研情况 | 第84-86页 |
| 附录 | 第86-92页 |
| 致谢 | 第92页 |