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微纳膜厚热电偶制备与动态标定方法研究

致谢第1-6页
摘要第6-7页
Abstract第7-14页
1 绪论第14-21页
   ·研究背景和意义第14页
   ·国内外研究现状第14-18页
     ·微纳膜厚热电偶制备研究现状第14-17页
     ·微纳膜厚热电偶动态特性理论研究现状第17页
     ·微纳热电偶动态标定方法研究现状第17-18页
   ·本论文研究内容第18-20页
     ·论文主要研究内容第19页
     ·论文组织及结构第19-20页
   ·论文创新点第20页
   ·本章小结第20-21页
2 微纳膜厚热电偶相关理论第21-35页
   ·热电偶基本原理及定律第21-27页
     ·热电效应第21-24页
     ·热电偶相关定律第24-27页
   ·微纳膜厚热电偶传热理论分析第27-34页
     ·基本传热方式第27-29页
     ·集总热容法第29-30页
     ·动态标定过程传热分析第30-34页
     ·理想动态标定实验方案基本要求第34页
   ·本章小结第34-35页
3 微纳膜厚热电偶的制备第35-43页
   ·电子印刷工艺第35-36页
   ·微纳膜厚热电偶结构设计与材料选择第36-40页
     ·微纳膜厚热电偶结构设计第36-37页
     ·微纳膜厚热电偶材料选取第37-40页
   ·制备流程第40-42页
   ·本章小结第42-43页
4 微纳膜厚热电偶静态标定第43-51页
   ·静态标定平台搭建第43-46页
     ·放大电路第44-45页
     ·采集装置第45-46页
     ·上位机程序第46页
   ·静态标定实验第46-50页
   ·本章小结第50-51页
5 微纳膜厚热电偶动态标定第51-66页
   ·动态标定原理第51-53页
     ·普通传感器动态标定第51页
     ·微纳膜厚热电偶动态标定方法第51-53页
   ·动态标定平台设计第53-55页
     ·放大电路第53页
     ·采集装置第53-54页
     ·上位机程序第54-55页
   ·油浴动态标定实验第55-57页
     ·油浴动态标定装置第55页
     ·油浴动态标定过程第55-56页
     ·标定结果第56-57页
   ·激光动态标定实验系统设计第57-64页
     ·激光动态标定装置第58-59页
     ·激光动态标定过程第59-60页
     ·标定结果第60-64页
   ·微纳膜厚热电偶动态响应时间的理论及测量结果分析第64-65页
   ·本章小结第65-66页
6 结论与展望第66-68页
   ·总结第66页
   ·展望第66-68页
参考文献第68-70页
作者简历第70页

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