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SiF4气体中气体杂质和金属杂质的检测方法研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-9页
第一章 引言第9-23页
   ·四氟化硅的性质及危害第9-13页
     ·四氟化硅的物理性质第9-10页
     ·四氟化硅的分子结构第10-11页
     ·四氟化硅的化学性质第11-12页
     ·四氟化硅的安全警示第12-13页
       ·储存方法第12页
       ·操作主要事项第12页
       ·泄漏应急处理第12-13页
   ·四氟化硅的应用第13-14页
     ·等离子体还原四氟化硅生产多晶硅第13页
     ·四氟化硅制备太阳能级多晶硅第13-14页
     ·四氟化硅制备氮化硅和三氟化氮第14页
   ·四氟化硅的国内外研究现状第14-21页
     ·四氟化硅的生产工艺第15-17页
       ·六氟硅酸盐制备四氟化硅第15页
       ·氟硅酸钠与浓硫酸反应制备四氟化硅第15-16页
       ·Si-HF合成法第16页
       ·单质硅与氟气反应制备第16页
       ·氟硅酸制备四氟化硅第16-17页
       ·四氟化铀与二氧化硅制取四氟化硅第17页
     ·四氟化硅的纯化技术第17-18页
       ·四氟化硅中六氟二甲基硅醚的纯化第17页
       ·四氟化硅中不凝性组分的纯化第17-18页
       ·四氟化硅气体中P,As等杂质的纯化第18页
       ·其他的纯化方法第18页
     ·四氟化硅的杂质分析方法第18-21页
       ·质谱法第19页
       ·气相色谱法第19-20页
       ·红外光谱法第20-21页
       ·等离子发射光谱法第21页
   ·本研究的目的、内容、技术路线第21-23页
     ·本研究的目的第21-22页
     ·本研究的内容第22页
     ·本研究的技术路线第22-23页
第二章气相色谱法检测四氟化硅气体中的气体杂质第23-41页
   ·前言第23页
   ·四氟化硅中气体杂质的检测第23-27页
     ·主要气体杂质第23-25页
     ·检测条件第25-27页
   ·实验过程第27-39页
     ·实验仪器与药品第27-29页
     ·实验检测过程第29-30页
       ·样品气制备过程第29页
       ·仪器开机过程第29页
       ·H_2、O_2、N_2、CH_4、CO组分的检测过程第29-30页
       ·PH_3、CO_2组分的检测过程第30页
     ·实验结果与分析第30-39页
       ·标准气检测结果与分析第30-36页
       ·样品气检测结果与分析第36-38页
       ·高纯四氟化硅样品气检测结果与分析第38-39页
   ·本章小结第39-41页
第三章火焰原子吸收法检测四氟化硅气体中的金属杂质第41-61页
   ·前言第41-46页
     ·SiF_4气体主要金属杂质第41-44页
     ·原子吸收原理第44-45页
       ·火焰原子化法第44页
       ·石墨炉原子化法第44-45页
       ·氢化物原子化法第45页
     ·原子吸收光谱法的应用第45-46页
   ·实验过程第46-52页
     ·实验要求第46页
     ·吸收液制备原理第46-47页
     ·实验仪器及试剂第47-48页
     ·实验流程图第48-50页
       ·SiF_4气体吸收液制备实验流程图第48-49页
       ·SiF_4气体吸收液后处理方框图第49页
       ·SiF_4气体吸收液制备以及后处理实验步骤第49-50页
     ·实验仪器条件第50-52页
   ·实验结果与分析第52-60页
     ·标准溶液的数据处理第52-56页
       ·标准溶液配制第52-53页
       ·标准溶液曲线绘制第53-56页
     ·实验结果及分析第56-60页
       ·吸收液实验数据第56-57页
       ·金属杂质检测数据分析第57-60页
   ·本章小结第60-61页
第四章光谱法检测四氟化硅气体中的氟化氢气体第61-68页
   ·前言第61-64页
     ·氟化氢的物理性质第61-62页
     ·氟化氢的化学性质第62页
     ·氟化氢的来源第62页
     ·傅里叶变换光谱第62-64页
   ·实验过程第64-65页
     ·实验仪器及试剂第64页
     ·实验步骤第64-65页
       ·样品气收集步骤第64-65页
       ·红外测样步骤第65页
   ·实验结果与讨论第65-67页
   ·本章小结第67-68页
第五章 结论和展望第68-71页
   ·总结第68-69页
     ·结论第68-69页
     ·创新点第69页
   ·展望第69-71页
致谢第71-72页
参考文献第72-78页
图版第78-81页

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