| 摘要 | 第1-9页 |
| Abstract | 第9-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| ·前言 | 第12页 |
| ·铁电材料 | 第12-15页 |
| ·铁电性 | 第12-14页 |
| ·铁电材料发展史 | 第14-15页 |
| ·铁电薄膜材料 | 第15-16页 |
| ·铁电薄膜简介 | 第15页 |
| ·铁电薄膜应用 | 第15-16页 |
| ·Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3概述 | 第16-22页 |
| ·Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3结构 | 第16页 |
| ·Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3研究进展 | 第16-22页 |
| ·Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3薄膜存在的主要问题 | 第22页 |
| ·本论文研究目的及主要内容 | 第22-24页 |
| 第二章 实验方案设计与研究方法 | 第24-32页 |
| ·实验原料与仪器设备 | 第24-25页 |
| ·铁电薄膜的制备 | 第25-28页 |
| ·铁电薄膜制备技术 | 第25-26页 |
| ·Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3基薄膜前驱体溶液的制备 | 第26-27页 |
| ·Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3基薄膜的制备工艺流程 | 第27-28页 |
| ·Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3基薄膜结晶性和电学性能表征手段 | 第28-32页 |
| ·X射线衍射 | 第28页 |
| ·原子力显微镜 | 第28-29页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第29页 |
| ·铁电测试仪 | 第29-30页 |
| ·阻抗分析仪 | 第30-32页 |
| 第三章 Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3基薄膜前驱体溶液配置的研究 | 第32-38页 |
| ·单晶Si衬底上Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti,Zr)O_3薄膜的结晶性 | 第32-33页 |
| ·LaNiO_3(100)/Si衬底上Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti,Fe)O_3薄膜的结晶性 | 第33-34页 |
| ·LaNiO_3(100)/Si衬底上Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti,Fe)O_3薄膜的电学性能 | 第34-36页 |
| ·铁电性 | 第34-35页 |
| ·介电性 | 第35-36页 |
| ·小结 | 第36-38页 |
| 第四章 低价Fe~(3+)掺杂Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3薄膜的结构和电学性能 | 第38-48页 |
| ·Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.99)Fe_(0.01))O_3薄膜的结晶性和介电调谐性 | 第38-41页 |
| ·结晶性 | 第38-39页 |
| ·介电调谐性 | 第39-41页 |
| ·退火温度对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Fe_(0.02))O_3薄膜结晶性和电学性能的影响 | 第41-45页 |
| ·Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(1-x)Fe_x)O_3(x=0.01～0.03)薄膜的电绝缘性和铁电性 | 第41-42页 |
| ·不同退火温度下Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Fe_(0.02))O_3薄膜的结晶性 | 第42-43页 |
| ·不同退火温度下Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Fe_(0.02))O_3薄膜的电学性能 | 第43-45页 |
| ·小结 | 第45-48页 |
| 第五章 等价Zr~(4+)掺杂Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3薄膜的结构和电学性能 | 第48-56页 |
| ·退火气氛对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti,Zr)O_3薄膜结晶性与电学性能的影响 | 第48-52页 |
| ·不同退火气氛下Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Zr_(0.02))O_3薄膜的结晶性 | 第48-50页 |
| ·不同退火气氛下Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Zr_(0.02))O_3薄膜的电绝缘性 | 第50-52页 |
| ·不同退火气氛下Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Zr_(0.02))O_3薄膜的铁电性 | 第52页 |
| ·Zr~(4+)掺量对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti,Zr)O_3薄膜结晶性和电学性能的影响 | 第52-55页 |
| ·不同Zr~(4+)掺量Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti,Zr)O_3薄膜的结晶性 | 第53页 |
| ·不同Zr~(4+)掺量Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti,Zr)O_3薄膜的铁电性 | 第53-54页 |
| ·不同Zr~(4+)掺量Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti,Zr)O_3薄膜的介电性 | 第54-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 第六章 高价Nb~(5+)掺杂Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti,Zr)O_3薄膜的结构和电学性能 | 第56-62页 |
| ·退火气氛对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Nb_(0.02))O_3薄膜结晶性的影响 | 第56-58页 |
| ·退火气氛对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Nb_(0.02))O_3薄膜电学性能的影响 | 第58-59页 |
| ·不同退火气氛下Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Nb_(0.02))O_3薄膜的铁电性 | 第58页 |
| ·不同退火气氛下Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Nb_(0.02))O_3薄膜的介电性 | 第58-59页 |
| ·小结 | 第59-62页 |
| 第七章 结论与展望 | 第62-64页 |
| ·主要研究结论 | 第62-63页 |
| ·主要创新点 | 第63页 |
| ·工作展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 附录 | 第74-76页 |
