| 摘要 | 第1-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| ·气体传感器概述 | 第11-13页 |
| ·金属氧化物半导体气敏传感器工作原理概述 | 第13-14页 |
| ·ZnO、SnO_2纳米材料研究现状 | 第14-19页 |
| ·金属氧化物半导体敏感材料概述 | 第14-15页 |
| ·ZnO、SnO_2纳米材料概述 | 第15-16页 |
| ·ZnO、SnO_2纳米材料制备方法研究进展 | 第16-17页 |
| ·ZnO、SnO_2气体传感器研究进展 | 第17-19页 |
| ·气敏性能测试 | 第19-21页 |
| ·气敏性能参数 | 第19-20页 |
| ·气敏性能测试方法 | 第20-21页 |
| ·本论文的研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 实验部分 | 第23-27页 |
| ·实验试剂及生长设备 | 第23-24页 |
| ·实验表征方法 | 第24-27页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第24-25页 |
| ·X射线衍射分析(XRD) | 第25页 |
| ·透射电子显微镜(TEM) | 第25页 |
| ·气敏性能测试系统 | 第25-27页 |
| 第三章 陶瓷管上直接生长ZnO纳米片及其气敏性能 | 第27-39页 |
| ·引言 | 第27-28页 |
| ·实验部分 | 第28-29页 |
| ·ZnO籽晶层的制备 | 第28页 |
| ·ZnO纳米片在Al_2O_3陶瓷管上的直接生长 | 第28-29页 |
| ·ZnO纳米片的表征及气敏性能测试 | 第29页 |
| ·结果与讨论 | 第29-37页 |
| ·生长温度对ZnO纳米片生长的影响 | 第29-30页 |
| ·不同碱源对ZnO纳米片生长的影响 | 第30页 |
| ·锌源溶液浓度对ZnO纳米片生长的影响 | 第30-31页 |
| ·生长时间对ZnO纳米片生长的影响 | 第31-37页 |
| ·不同生长时间下ZnO纳米片的形貌及结构表征 | 第31-33页 |
| ·在陶瓷管上直接构筑的ZnO纳米片气敏器件性能 | 第33-36页 |
| ·ZnO纳米片气体敏感机理 | 第36-37页 |
| ·小结 | 第37-39页 |
| 第四章 NiO/ZnO纳米片异质PN结传感器的组装及气敏性能 | 第39-57页 |
| ·引言 | 第39-40页 |
| ·实验部分 | 第40-41页 |
| ·NiO/ZnO异质结纳米片在Al_2O_3陶瓷管上的直接生长 | 第40页 |
| ·不同NiO含量的NiO/ZnO纳米片异质结的制备 | 第40-41页 |
| ·NiO/ZnO纳米片异质结表征与气敏性能测试 | 第41页 |
| ·结果与讨论 | 第41-55页 |
| ·NiO/ZnO异质结纳米片的微结构与成分 | 第41-43页 |
| ·NiO/ZnO异质结纳米片的气敏性能 | 第43-46页 |
| ·NiO含量对NiO/ZnO纳米片气敏性能的影响 | 第46-49页 |
| ·ZnO纳米片表面PN结对其气敏性能改善机理讨论 | 第49-51页 |
| ·PN结改善气敏性能机理的扩展 | 第51-55页 |
| ·小结 | 第55-57页 |
| 第五章 SnO_2纳米片的直接生长及Au颗粒修饰对其气敏性能影响 | 第57-69页 |
| ·引言 | 第57-58页 |
| ·实验部分 | 第58-59页 |
| ·SnO_2纳米片在Al_2O_3陶瓷管上的直接生长 | 第58页 |
| ·SnO_2纳米片的金颗粒修饰 | 第58-59页 |
| ·SnO_2及Au/SnO_2纳米片的表征及气敏性能测试 | 第59页 |
| ·结果与讨论 | 第59-67页 |
| ·生长温度对SnO_2纳米片的影响 | 第59-60页 |
| ·不同碱源对SnO_2纳米片的影响 | 第60-61页 |
| ·锡源浓度对SnO_2纳米片的影响 | 第61-62页 |
| ·生长时间对SnO_2纳米片的影响 | 第62-63页 |
| ·Au颗粒修饰对SnO_2纳米片气敏性能的影响 | 第63-67页 |
| ·Au/SnO_2纳米片形貌与元素分析 | 第63-64页 |
| ·Au/SnO_2纳米片气敏性能分析 | 第64-66页 |
| ·Au颗粒修饰改善SnO_2纳米片气敏性能的机理 | 第66-67页 |
| ·小结 | 第67-69页 |
| 第六章 平板电极上Au/SnO_2/ZnO复合纳米线的生长及其近室温气敏性能 | 第69-83页 |
| ·引言 | 第69-70页 |
| ·实验部分 | 第70-72页 |
| ·Au/SnO_2/ZnO复合纳米线在Al_2O_3平板电极上的直接生长 | 第70-71页 |
| ·Au/SnO_2/ZnO复合纳米线表征及气敏性能测试 | 第71-72页 |
| ·结果与讨论 | 第72-80页 |
| ·Au/SnO_2/ZnO复合纳米线的形貌与结构 | 第72-74页 |
| ·Au/SnO_2/ZnO复合纳米线的气敏性能 | 第74-79页 |
| ·NN结及肖特基接触二元协同作用改善ZnO纳米线气敏性能机理 | 第79-80页 |
| ·小结 | 第80-83页 |
| 第七章 结论与展望 | 第83-87页 |
| ·总结 | 第83-84页 |
| ·展望 | 第84-87页 |
| 参考文献 | 第87-97页 |
| 致谢 | 第97-99页 |
| 附录 | 第99-100页 |
