半导体厂房空调系统节能研究
| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第7-8页 |
| ·国内外发展和研究现状 | 第8-11页 |
| ·国外发展和研究状况 | 第8-9页 |
| ·国内发展和研究状况 | 第9-11页 |
| ·本文研究内容和方法 | 第11-12页 |
| ·本章小结 | 第12-13页 |
| 2 洁净室空调系统节能分析 | 第13-25页 |
| ·洁净室技术介绍 | 第13-17页 |
| ·洁净室原理和构成 | 第13-14页 |
| ·空气洁净技术 | 第14-15页 |
| ·洁净室洁净度等级 | 第15-16页 |
| ·洁净室分类 | 第16-17页 |
| ·洁净室气流组织 | 第17-20页 |
| ·单向流洁净室 | 第17-19页 |
| ·非单向流洁净室 | 第19页 |
| ·矢流洁净室 | 第19-20页 |
| ·洁净室高耗能原因分析 | 第20-21页 |
| ·洁净室节能方案分析 | 第21-24页 |
| ·洁净室气流组织节能分析 | 第21-22页 |
| ·洁净室空气处理节能分析 | 第22-24页 |
| ·洁净室冷源系统节能 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 洁净室气流组织理论和 CFD 方法 | 第25-40页 |
| ·洁净室气流组织的意义 | 第25页 |
| ·洁净室悬浮微粒研究 | 第25-30页 |
| ·悬浮颗粒来源 | 第25-26页 |
| ·悬浮颗粒的运动特性 | 第26-30页 |
| ·悬浮颗粒的控制 | 第30页 |
| ·洁净室气流数学模型 | 第30-35页 |
| ·湍流运动研究 | 第30-31页 |
| ·流体控制方程 | 第31-32页 |
| ·湍流数值计算方法 | 第32-33页 |
| ·湍流基本模型 | 第33-35页 |
| ·CFD 方法理论基础 | 第35-38页 |
| ·CFD 方法概述 | 第35-36页 |
| ·CFD 方法求解过程 | 第36-38页 |
| ·FLUENT 介绍 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 洁净室气流组织模拟 | 第40-57页 |
| ·CFD 软件在洁净室气流组织中的重要性 | 第40页 |
| ·基本假设 | 第40-41页 |
| ·建立控制方程 | 第41-42页 |
| ·初始条件 | 第42页 |
| ·物理模型的建立 | 第42-56页 |
| ·室内几何模型的建立 | 第42页 |
| ·网格的划分 | 第42-43页 |
| ·流场计算的 SIMPLE 算法 | 第43页 |
| ·模拟结果分析处理 | 第43-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 5 洁净空调系统节能综合分析 | 第57-65页 |
| ·冷水系统的节能分析 | 第57-60页 |
| ·冷水机组的节能分析 | 第60-63页 |
| ·水泵变频的节能及意义分析 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 6 结论与展望 | 第65-67页 |
| ·主要工作与结论 | 第65-66页 |
| ·展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 附录 | 第71页 |
