| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·氮化物硬质涂层的研究进展 | 第11-13页 |
| ·硬质涂层的制备方法 | 第13-17页 |
| ·真空蒸镀 | 第14页 |
| ·溅射沉积 | 第14-16页 |
| ·离子镀沉积 | 第16-17页 |
| ·课题研究目的、意义及主要内容 | 第17-19页 |
| ·本课题研究目的和意义 | 第17页 |
| ·本课题研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 实验方法 | 第19-25页 |
| ·实验材料 | 第19页 |
| ·TiAlN/Si_3N_4-Cu涂层的制备 | 第19-20页 |
| ·镀膜设备 | 第19-20页 |
| ·TiAlN/Si_3N_4-Cu涂层制备工艺参数 | 第20页 |
| ·涂层的结构与性能测试 | 第20-25页 |
| ·膜层的表面和截面形貌分析 | 第20-21页 |
| ·膜层物相分析 | 第21页 |
| ·纳米压痕测试 | 第21-22页 |
| ·涂层韧性测试 | 第22-23页 |
| ·结合性能测试 | 第23页 |
| ·摩擦学性能测试 | 第23页 |
| ·高温氧化性能测试 | 第23-25页 |
| 第3章 沉积温度对TiAlN/Si_3N_4-Cu纳米复合涂层性能的影响 | 第25-34页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·实验结果与分析 | 第25-32页 |
| ·涂层成分分析 | 第25页 |
| ·涂层的表面及截面形貌 | 第25-27页 |
| ·涂层的XRD分析 | 第27页 |
| ·涂层的力学性能 | 第27-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 第4章 负偏压对TiAlN/Si_3N_4-Cu纳米复合涂层性能的影响 | 第34-44页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·实验结果与分析 | 第34-43页 |
| ·涂层的成分分析 | 第34-35页 |
| ·涂层表面及其截面形貌 | 第35-37页 |
| ·涂层的XRD分析 | 第37-38页 |
| ·涂层的力学性能 | 第38-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第5章 Si含量对TiAlN/Si_3N_4-Cu纳米复合涂层性能的影响 | 第44-59页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·实验结果与分析 | 第44-58页 |
| ·涂层成分分析 | 第44-45页 |
| ·涂层形貌分析 | 第45-46页 |
| ·涂层XRD分析 | 第46-48页 |
| ·涂层硬度和弹性模量 | 第48-49页 |
| ·涂层韧性分析 | 第49-51页 |
| ·涂层结合性能 | 第51-53页 |
| ·涂层摩擦学性能 | 第53-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第6章 Cu含量对TiAlN/Si_3N_4-Cu纳米复合涂层性能的影响 | 第59-71页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·实验结果与分析 | 第59-70页 |
| ·涂层成分和微观结构分析 | 第59-60页 |
| ·物相分析 | 第60-61页 |
| ·力学性能 | 第61-62页 |
| ·抗高温氧化性能 | 第62-68页 |
| ·高温磨损性能 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第7章 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
