中文摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-10页 |
第一章 绪论 | 第10-24页 |
·光学减反射薄膜 | 第11-14页 |
·单层多层减反射光学薄膜 | 第12-14页 |
·亚波长结构减反射薄膜 | 第14-17页 |
·亚波长减反射结构研究现状 | 第15-16页 |
·亚波长减反射塑料薄膜 | 第16-17页 |
·纳米压印技术 | 第17-23页 |
·热压纳米压印技术 | 第18-20页 |
·紫外光固化纳米压印技术 | 第20-23页 |
·本论文研究内容 | 第23-24页 |
第二章 软压印法制备亚波长减反薄膜 | 第24-43页 |
·阳极氧化铝(anodic aluminum oxide, AAO) | 第25-26页 |
·多孔氧化铝的制备方法与孔形选择 | 第26-31页 |
·AAO 的制备方法 | 第26-28页 |
·AAO 孔形选择 | 第28-31页 |
·多孔氧化铝表面处理(脱模技术) | 第31-34页 |
·软压法 | 第34-42页 |
·软光刻 | 第34-36页 |
·软压印技术 | 第36-42页 |
·本章小结 | 第42-43页 |
第三章 亚波长减反射结构特性分析 | 第43-57页 |
·亚波长减反结构模拟分析 | 第43-50页 |
·FDTD 方法 | 第43-44页 |
·FDTD 的基本原理 | 第44-47页 |
·用 FDTD 方法模拟亚波长减反射结构 | 第47-50页 |
·实验结果分析 | 第50-54页 |
·本章小结 | 第54-57页 |
第四章 总结与展望 | 第57-60页 |
·总结 | 第57-59页 |
·展望 | 第59-60页 |
参考文献 | 第60-65页 |
攻读硕士学位期间研究成果 | 第65-66页 |
致谢 | 第66-67页 |