| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| ·压电效应和压电薄膜 | 第9-11页 |
| ·压电效应 | 第9-10页 |
| ·压电本构方程 | 第10页 |
| ·压电薄膜 | 第10-11页 |
| ·悬臂梁结构压电换能器 | 第11-15页 |
| ·微悬臂梁压电薄膜致动器 | 第12-13页 |
| ·悬臂梁压电俘能器 | 第13-15页 |
| ·悬臂梁压电换能器理论模型 | 第15-18页 |
| ·铁木辛柯粱理论 | 第15-16页 |
| ·欧拉伯努利粱理论 | 第16-17页 |
| ·悬臂梁压电换能器理论模型发展简述 | 第17-18页 |
| ·本论文的选题依据和主要内容 | 第18-20页 |
| ·本论文的选题依据 | 第18-19页 |
| ·本论文的主要工作 | 第19-20页 |
| 第2章 基于欧拉粱理论微悬臂梁压电致动器的理论分析 | 第20-32页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·微悬臂梁压电致动器的建模 | 第20-25页 |
| ·压电致动器 1-3 型工作模式的本构方程 | 第21-22页 |
| ·多层微悬臂梁的中性面确定 | 第22页 |
| ·多层微悬臂梁的弯矩确定 | 第22-23页 |
| ·微悬臂梁压电致动器动态挠度的求解 | 第23-25页 |
| ·实验和有限元模拟结果验证提出的模型 | 第25-29页 |
| ·模拟计算参数的选取 | 第25-26页 |
| ·微悬臂梁压电致动器的有限元建模 | 第26页 |
| ·模型正确性的验证 | 第26-29页 |
| ·微悬臂梁压电致动器的性能预测 | 第29-31页 |
| ·谐振频率和自由端挠度对缓冲层和电极层厚度的依赖关系 | 第29-30页 |
| ·谐振频率和顶端挠度对 Si 衬底厚度的依赖关系 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 基于铁木辛柯粱理论串联悬臂梁双晶片压电俘能器的理论分析 | 第32-47页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·串联悬臂梁压电双晶片的建模 | 第32-41页 |
| ·串联悬臂梁压电双晶片机电耦合方程确定 | 第33-37页 |
| ·串联悬臂梁双晶片压电俘能器模态分析 | 第37-40页 |
| ·简谐振动下压电俘能器的稳态响应 | 第40-41页 |
| ·实验结果验证提出的模型 | 第41-46页 |
| ·串联悬臂梁双晶片压电俘能器模拟参数选取 | 第42页 |
| ·不同负载下的压电俘能器输出电压和功率频率响应 | 第42-45页 |
| ·压电俘能器输出电压和功率对负载电阻的依赖 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 分段电极微悬臂梁压电致动器的理论分析 | 第47-54页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·分段电极微悬臂梁压电致动器的设计 | 第47-48页 |
| ·悬臂梁应力节点的含义 | 第47-48页 |
| ·分段和未分段电极微悬臂梁压电致动器的设计 | 第48页 |
| ·分段电极微悬臂梁压电致动器的动态分析 | 第48-51页 |
| ·分段电极微悬臂梁压电致动器的建模 | 第48-49页 |
| ·分段电极微悬臂梁压电致动器几何和材料参数选取 | 第49页 |
| ·分段电极微悬臂梁压电致动器的动态模拟 | 第49-51页 |
| ·分段电极微悬臂梁压电致动器的静态分析 | 第51-53页 |
| ·分段电极微悬臂梁压电致动器的理论建模 | 第51-52页 |
| ·分段电极微悬臂梁压电致动器的静态模拟 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 总结和展望 | 第54-56页 |
| ·全文总结 | 第54页 |
| ·工作展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 攻读学位期间发表的论文及参与的会议 | 第62页 |