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纳秒YAG脉冲激光烧蚀锗的等离子体特性研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-7页
第一章 绪论第7-12页
   ·引言第7页
   ·激光烧蚀及其应用第7-9页
   ·半导体Ge等离子体特性的研究意义及研究进展第9-10页
   ·研究内容第10-12页
第二章 激光等离子体特性概述第12-20页
   ·等离子体第12页
   ·论文的研究方法第12-13页
   ·等离子体辐射机制第13-14页
   ·谱线展宽机制第14-15页
   ·等离子体电子温度第15-17页
   ·等离子体电子密度第17-19页
   ·本章小结第19-20页
第三章 大气环境下Ge等离子体特性第20-38页
   ·实验装置和方法第20-22页
   ·Ge等离子体发射光谱的时空演化第22-31页
   ·等离子体电子密度第31-37页
   ·本章小结第37-38页
第四章 真空环境下Ge等离子体特性第38-51页
   ·实验装置和方法第38-39页
   ·Ge等离子体发射谱的时空演化第39-46页
   ·电子温度和密度的时间演化第46-50页
   ·本章小结第50-51页
第五章 总结与展望第51-53页
致谢第53-54页
发表文章第54-55页
参考文献第55-57页

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