用于燃料电池温度和热流测量的薄膜传感器的实验研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-33页 |
| ·课题背景及意义 | 第11-20页 |
| ·性能影响因素 | 第12-18页 |
| ·阳极供料系统研究 | 第18-20页 |
| ·微小型燃料电池温度测试 | 第20-27页 |
| ·接触式测温 | 第20-24页 |
| ·红外热成像技术测温 | 第24-26页 |
| ·其它方法 | 第26-27页 |
| ·微小型燃料电池热流计测试 | 第27-30页 |
| ·微型瞬态薄膜热流计的发展历史 | 第27-29页 |
| ·微型瞬态薄膜热流计的分类 | 第29页 |
| ·微型瞬态薄膜热流计的发展现状 | 第29-30页 |
| ·本文的研究内容及研究目的 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第2章 薄膜传感器的镀膜系统和标定系统 | 第33-45页 |
| ·薄膜技术 | 第33-35页 |
| ·薄膜与厚膜 | 第33页 |
| ·成膜方法 | 第33-34页 |
| ·薄膜附着强度 | 第34-35页 |
| ·真空镀膜系统 | 第35-40页 |
| ·真空镀膜系统的构成 | 第35-36页 |
| ·真空镀膜系统各部件的使用 | 第36-38页 |
| ·真空镀膜系统的使用流程与注意事项 | 第38-39页 |
| ·故障及维修 | 第39-40页 |
| ·薄膜传感器的标定系统 | 第40-43页 |
| ·标定技术 | 第40-41页 |
| ·标定系统的构成 | 第41-42页 |
| ·标定系统的标定流程与使用 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第3章 薄膜热电偶测头的制作与标定 | 第45-61页 |
| ·薄膜热电偶制作材料的选择 | 第45-47页 |
| ·基片材料的选择 | 第45页 |
| ·电极材料的选择 | 第45-47页 |
| ·薄膜热电偶的制作 | 第47-50页 |
| ·薄膜热电偶测温原理 | 第47-48页 |
| ·薄膜热电偶的制作方案 | 第48页 |
| ·薄膜热电偶掩模与卡具的设计 | 第48-50页 |
| ·薄膜热电偶的制作流程 | 第50页 |
| ·薄膜热电偶的标定 | 第50-56页 |
| ·薄膜热电偶的静态标定 | 第50-52页 |
| ·薄膜热电偶的稳态性能测试 | 第52页 |
| ·薄膜热电偶的动态性能测试 | 第52-55页 |
| ·薄膜热电偶的应用 | 第55-56页 |
| ·保护层厚度的影响 | 第56-58页 |
| ·误差分析 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-61页 |
| 第4章 薄膜热流计测头的制作与标定 | 第61-77页 |
| ·薄膜热流计制作电极和基片材料的选择 | 第61页 |
| ·薄膜热流计的制作 | 第61-64页 |
| ·薄膜热流计的测热流原理 | 第61-62页 |
| ·薄膜热流计掩模与卡具的设计 | 第62-63页 |
| ·薄膜热流计的制作流程 | 第63-64页 |
| ·薄膜热流计的标定 | 第64-73页 |
| ·薄膜热流计的静态标定 | 第64-66页 |
| ·薄膜热流计的稳态响应测试 | 第66-67页 |
| ·薄膜热流计的动态性能测试 | 第67-73页 |
| ·热流计在燃料电池中的应用分析 | 第73-74页 |
| ·误差分析 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 结论 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-85页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第85-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
