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基于图像传感器的微纳米定位方法研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-7页
第一章 绪论第7-11页
   ·选题的背景及意义第7页
   ·国内外研究现状及趋势第7-9页
   ·论文研究的主要内容第9-11页
第二章 四光束激光干涉点阵图案定位系统第11-16页
   ·四光束激光干涉系统第11-13页
   ·激光干涉点阵图案采集系统第13-16页
第三章 干涉图案的采集及噪声处理第16-23页
   ·影响图案采集效果的因素分析第16-18页
   ·采集图像的噪声处理第18-23页
第四章 激光干涉点阵图案定位第23-35页
   ·边缘检测第23-27页
   ·亚像素边缘定位第27-35页
第五章 激光干涉点阵图案定位实验结果第35-46页
   ·四光束干涉点阵的模拟第35-39页
   ·干涉点阵的实验研究第39-43页
   ·误差分析第43-46页
第六章 总结与展望第46-47页
致谢第47-48页
发表论文第48-49页
参考文献第49-51页

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