| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-10页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·国内外研究现状 | 第7-9页 |
| ·本课题研究的内容 | 第9-10页 |
| 第二章 偏振光检测基本原理 | 第10-25页 |
| ·光波的三种偏振态及描述 | 第10-13页 |
| ·偏振态的数学描述法 | 第13-19页 |
| ·光波的偏振态测量方法及原理 | 第19-25页 |
| 第三章 智能化偏振特性测量系统组成 | 第25-45页 |
| ·系统的电路部分结构示意图 | 第25-26页 |
| ·光电传感器 | 第26-28页 |
| ·信号调理电路 | 第28-32页 |
| ·A/D变换器及与单片机的串行通信 | 第32-38页 |
| ·主控芯片模块 | 第38-41页 |
| ·液晶相位控制单元 | 第41-42页 |
| ·单片机与上位机串行通信 | 第42-45页 |
| 第四章 智能偏振系统软件设计 | 第45-51页 |
| ·单片机主控单元软件设计 | 第45-48页 |
| ·上位机虚拟仪器设计 | 第48-51页 |
| 第五章 偏振测量在薄膜测厚中的应用 | 第51-59页 |
| ·薄膜测厚方法 | 第51页 |
| ·偏振光测厚原理 | 第51-53页 |
| ·智能偏振测厚系统 | 第53-57页 |
| ·测试结果 | 第57-59页 |
| 第六章 总结 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61页 |