| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-24页 |
| ·前言 | 第8-9页 |
| ·半导体气敏传感器的常见类型 | 第9-12页 |
| ·电阻型金属氧化物半导体气敏传感器的工作原理 | 第12-15页 |
| ·气敏传感器特性参数简介 | 第15-16页 |
| ·半导体气敏传感器稳定性的研究现状 | 第16-23页 |
| ·本课题的研究目的及内容 | 第23-24页 |
| 2 环境湿度对MOS 气敏传感器及阵列性能的影响 | 第24-39页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·实验方案 | 第24页 |
| ·传感器阵列及其制备工艺 | 第24-26页 |
| ·气敏性测试 | 第26-29页 |
| ·数据分析 | 第29-30页 |
| ·结果与讨论 | 第30-38页 |
| ·小结 | 第38-39页 |
| 3 ZnO 基气敏传感器稳定性研究 | 第39-50页 |
| ·前言 | 第39页 |
| ·稳定性评价参数和评判标准 | 第39-40页 |
| ·ZnO 基管状气敏传感器的稳定性研究 | 第40-43页 |
| ·ZnO 基平板型气敏传感器的稳定性研究 | 第43-49页 |
| ·小结 | 第49-50页 |
| 4 全文总结 | 第50-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文 | 第58页 |