| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-31页 |
| ·等离子体及其特征 | 第9-11页 |
| ·等离子体的概念 | 第9-10页 |
| ·低温等离子体技术的最新进展与展望 | 第10-11页 |
| ·磁过滤阴极弧等离子体沉积技术 | 第11-20页 |
| ·阴极弧简介 | 第11-13页 |
| ·宏观粒子过滤装置 | 第13-16页 |
| ·阴极弧过程中薄膜的生长 | 第16-20页 |
| ·磁过滤沉积设备及其改进 | 第20-25页 |
| ·磁过滤沉积设备简介 | 第20-23页 |
| ·磁过滤设备的改进 | 第23-25页 |
| ·研究背景和选题依据 | 第25-28页 |
| ·研究背景 | 第25-27页 |
| ·选题依据 | 第27-28页 |
| 参考文献 | 第28-31页 |
| 第2章 结合磁过滤阴极弧等离子体沉积技术制备类金刚石薄膜的研究 | 第31-45页 |
| ·无氢类金刚石碳膜 | 第31-34页 |
| ·DLC 膜的性质 | 第31-32页 |
| ·DLC 膜的结构 | 第32页 |
| ·DLC 膜的sp~3/ sp~2 成分分析 | 第32-33页 |
| ·无氢类金刚石材料的一些主要性能 | 第33页 |
| ·类金刚石薄膜的用途 | 第33-34页 |
| ·实验部分 | 第34-42页 |
| ·实验方法 | 第34-35页 |
| ·结果与讨论 | 第35-42页 |
| ·结论 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-45页 |
| 第3章 结合磁过滤阴极弧等离子体沉积技术制备氧化锌薄膜的研究 | 第45-57页 |
| ·ZNO 的性质和功能 | 第45-46页 |
| ·ZnO 性质简介 | 第45页 |
| ·ZnO 功能简介 | 第45-46页 |
| ·ZNO 表征方法 | 第46-47页 |
| ·实验部分 | 第47-55页 |
| ·实验方法 | 第47页 |
| ·结果与讨论 | 第47-55页 |
| ·结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-57页 |
| 第4章 自组装技术制备稀土Y 润滑薄膜的研究 | 第57-65页 |
| ·引言 | 第57-59页 |
| ·实验部分 | 第59页 |
| ·基片处理 | 第59页 |
| ·Y_2O_3 薄膜的制备 | 第59页 |
| ·薄膜的形貌分析和结构表征 | 第59页 |
| ·摩擦学性能测试 | 第59页 |
| ·结果与讨论 | 第59-63页 |
| ·薄膜的结构表征 | 第59-61页 |
| ·Y 薄膜的摩擦学性能 | 第61-63页 |
| ·结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-65页 |
| 第5章 结论与展望 | 第65-66页 |
| 研究生期间完成和发表的文章 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |