| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-12页 |
| 第一章 碰撞等离子体概述 | 第12-36页 |
| ·碰撞等离子体概念 | 第12-27页 |
| ·等离子体的定义 | 第12-14页 |
| ·等离子体的一般性质 | 第14-16页 |
| ·碰撞等离子体 | 第16-27页 |
| ·碰撞等离子体的产生方法 | 第27-31页 |
| ·束流等离子体 | 第29-30页 |
| ·射频耦合等离子体 | 第30-31页 |
| ·其他方法 | 第31页 |
| ·碰撞等离子体的应用 | 第31-33页 |
| ·等离子体加热 | 第32页 |
| ·材料的表面处理 | 第32页 |
| ·等离子体光源 | 第32页 |
| ·等离子体隐身 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-36页 |
| 第二章 碰撞等离子体研究现状 | 第36-58页 |
| ·束流产生等离子体研究现状 | 第36-44页 |
| ·电子束等离子体的基本性质 | 第36-37页 |
| ·电子束的传输 | 第37-39页 |
| ·能量沉积与电子分布函数 | 第39-41页 |
| ·作为电磁波反射体和吸收体的电子束等离子体 | 第41-44页 |
| ·射频耦合等离子体研究现状 | 第44-50页 |
| ·感应耦合等离子体的一般性质 | 第45-47页 |
| ·反常趋肤深度 | 第47-48页 |
| ·电感耦合等离子体中的非局域现象 | 第48-50页 |
| ·碰撞条件下的等离子体诊断 | 第50-58页 |
| ·微波诊断 | 第51-53页 |
| ·光谱诊断 | 第53-54页 |
| ·探针诊断 | 第54-58页 |
| 第三章 电子束产生等离子体的数值模拟 | 第58-104页 |
| ·实验装置 | 第59-65页 |
| ·电子枪 | 第59-61页 |
| ·真空系统 | 第61页 |
| ·诊断系统 | 第61-65页 |
| ·电子束产生等离子体的蒙特卡罗模拟 | 第65-89页 |
| ·电子与物质的相互作用 | 第66-68页 |
| ·关于EGS4 | 第68-77页 |
| ·物理模型及模拟方法 | 第77-78页 |
| ·束电子密度和能量分布 | 第78-82页 |
| ·等离子体密度分布 | 第82-87页 |
| ·不同截止能量对模拟结果的影响 | 第87-89页 |
| ·结论与讨论 | 第89页 |
| ·电子束产生等离子体的流体模拟 | 第89-101页 |
| ·引言 | 第89-90页 |
| ·基本模型 | 第90-93页 |
| ·数值计算结果及分析 | 第93-101页 |
| ·结论 | 第101页 |
| ·本章小结 | 第101-104页 |
| 第四章 中等气压条件下电感耦合等离子体的实验研究 | 第104-134页 |
| ·导言 | 第104-106页 |
| ·实验装置 | 第106-107页 |
| ·射频耦合等离子体的放电独立性研究 | 第107-120页 |
| ·实验安排 | 第107-110页 |
| ·ICP单元放电性质 | 第110-113页 |
| ·ICP放电单元的组合性质 | 第113-119页 |
| ·基于线性迭加性质的大面积密度均匀等离子体构造 | 第119-120页 |
| ·射频耦合等离子体的电离相干性研究 | 第120-131页 |
| ·实验安排 | 第120页 |
| ·实验现象 | 第120-125页 |
| ·理论模型 | 第125-130页 |
| ·基于相干增强性质的大面积、密度均匀等离子体的构造 | 第130-131页 |
| ·本章小结 | 第131-134页 |
| 第五章 碰撞条件下的等离子体探针诊断方法 | 第134-150页 |
| ·理论模型 | 第134-141页 |
| ·理论模型 | 第134-137页 |
| ·球状探针解 | 第137-139页 |
| ·柱状探针解 | 第139-141页 |
| ·诊断方法及实验结果 | 第141-147页 |
| ·双探针曲线的获得 | 第141-142页 |
| ·实验探针曲线的拟合 | 第142-144页 |
| ·稳定性问题 | 第144页 |
| ·拟合区域的选择对密度的影响 | 第144-146页 |
| ·误差分析 | 第146-147页 |
| ·本章小结 | 第147-150页 |
| 第六章 结束语 | 第150-154页 |
| 参考文献 | 第154-164页 |
| 致谢 | 第164-166页 |
| 攻读学位期间的主要研究工作和论文发表情况 | 第166页 |