基于垂直位移扫描的表面轮廓综合测量仪
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·选题意义及背景 | 第8页 |
| ·表面测量技术发展概况 | 第8-14页 |
| ·各种测量方法的比较 | 第14-15页 |
| ·本文的主要工作 | 第15-16页 |
| 2 仪器总体结构方案 | 第16-33页 |
| ·仪器整体构思的来源 | 第16-25页 |
| ·仪器的整体结构方案设计 | 第25-26页 |
| ·仪器的测量原理 | 第26-27页 |
| ·仪器主要部分简介 | 第27-32页 |
| ·仪器的性能指标 | 第32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 3 衍射光栅干涉计量系统的光学系统设计 | 第33-39页 |
| ·衍射光栅基本原理 | 第33-35页 |
| ·工作台光栅干涉计量系统 | 第35-39页 |
| 4 仪器的测控电路设计 | 第39-51页 |
| ·衍射光栅干涉条纹光电信号转换电路 | 第40-41页 |
| ·条纹光电信号硬件四细分处理 | 第41-44页 |
| ·条纹的单片机计数 | 第44-46页 |
| ·条纹信号的四分之一周期内的进一步细分 | 第46-47页 |
| ·压电陶瓷驱动电路 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 曲线拟合的数学模型和虚拟仪器的应用实验 | 第51-60页 |
| ·直线度的评定 | 第51-52页 |
| ·圆弧曲线线轮廓度的评定 | 第52-53页 |
| ·椭圆偏差的评定 | 第53-55页 |
| ·一般多项式曲线面形偏差的评定 | 第55-56页 |
| ·虚拟仪器的应用和实验测量 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 6 全文总结和展望 | 第60-61页 |
| ·工作总结 | 第60页 |
| ·展望及今后工作的建议 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 附录 1 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第65-66页 |
| 附录 2 电路实物图 | 第66-68页 |
