| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-10页 |
| ·课题背景 | 第7页 |
| ·研究意义 | 第7页 |
| ·半导体测试设备的选型和持续性改进研究现状 | 第7-8页 |
| ·研究内容 | 第8-9页 |
| ·论文结构 | 第9-10页 |
| 2 设备和设备管理概述 | 第10-22页 |
| ·设备概述 | 第10-14页 |
| ·设备管理概述 | 第14-21页 |
| ·设备管理 | 第14-18页 |
| ·设备的前期管理 | 第18-21页 |
| ·小结 | 第21-22页 |
| 3 半导体制造业工程和后道检测工程概述 | 第22-32页 |
| ·半导体制造流程介绍 | 第22-23页 |
| ·后道检测工程介绍 | 第23-26页 |
| ·后道检测工程生产流程 | 第23-25页 |
| ·后道检测工程设备 | 第25-26页 |
| ·后道检测工程的 HANDLER的结构 (Architecture)研究 | 第26-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 4 测试设备选型方法和实施研究 | 第32-41页 |
| ·设备的选型的基本理论和考虑因素 | 第32-35页 |
| ·设备的选型的基本理论 | 第32-33页 |
| ·设备选型的考虑因素 | 第33-35页 |
| ·测试设备选型的实施方法和步骤 | 第35-39页 |
| ·项目背景分析 | 第35-36页 |
| ·TESTER设备选型 | 第36-38页 |
| ·HANLDER设备选型 | 第38-39页 |
| ·小结 | 第39-41页 |
| 5 测试设备持续性改进方法和实施研究 | 第41-54页 |
| ·SPM产品测试生产HANDLER持续性改进例一 | 第41-49页 |
| ·项目背景分析 | 第41-42页 |
| ·HANDLER持续性改进方法的提出和分析 | 第42-46页 |
| ·HANDLER持续性改进方案的实施和结果评估 | 第46-49页 |
| ·SPM产品测试生产HANDLER持续性改进例二 | 第49-52页 |
| ·项目背景分析 | 第49页 |
| ·HANDLER持续性改进方法的提出和分析 | 第49-52页 |
| ·HANDLER持续性改进方案的结果评估 | 第52页 |
| ·小结 | 第52-54页 |
| 6 总结与展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-57页 |