氮化物薄膜的制备及离子注入对其性能影响研究
| 摘 要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT(英文摘要) | 第5-10页 |
| 第一章 绪 论 | 第10-34页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·离子镀技术研究进展 | 第11-19页 |
| ·离子镀的特点 | 第12-14页 |
| ·离子镀的类型 | 第14页 |
| ·离子镀的发展 | 第14-19页 |
| ·离子注入材料研究概况 | 第19-27页 |
| ·离子注入材料研究历史 | 第19-21页 |
| ·离子注入材料的物理过程 | 第21-24页 |
| ·高剂量离子注入材料的剂量 | 第24-26页 |
| ·金属蒸气真空弧离子源 | 第26-27页 |
| ·离子注入金属氮化物的研究概况 | 第27-33页 |
| ·离子注入金属氮化物的特点 | 第27-28页 |
| ·金属氮化物的注入分类 | 第28-33页 |
| ·本论文的研究目的与构想 | 第33-34页 |
| 第二章 实验方法 | 第34-45页 |
| ·样品状态及预处理 | 第34-35页 |
| ·样品状态 | 第34页 |
| ·样品预处理 | 第34-35页 |
| ·离子镀膜 | 第35-36页 |
| ·柱状靶镀膜设备 | 第35-36页 |
| ·实验方案 | 第36页 |
| ·离子注入 | 第36-40页 |
| ·金属蒸气真空弧离子源工作原理及其结构 | 第36-38页 |
| ·金属蒸气真空弧离子源工作特性及参数 | 第38-39页 |
| ·实验方案 | 第39-40页 |
| ·分析、测试方法简介 | 第40-45页 |
| ·X射线衍射 | 第40-41页 |
| ·X射线光电子能谱 | 第41页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第41页 |
| ·动电位极化曲线测量 | 第41-43页 |
| ·色度测量 | 第43-44页 |
| ·摩擦磨损试验 | 第44页 |
| ·表面形貌仪 | 第44-45页 |
| 第三章 CrNx双层膜和梯度膜的制备及性能研究 | 第45-66页 |
| ·引言 | 第45-46页 |
| ·CrN/Cr薄膜的制备及其性能研究 | 第46-52页 |
| ·样品设计和制备 | 第46-47页 |
| ·膜层硬度测量 | 第47页 |
| ·膜层形貌和厚度分析 | 第47-50页 |
| ·摩擦磨损实验 | 第50-51页 |
| ·膜层相结构与成分分析 | 第51-52页 |
| ·CrNx梯度薄膜制备与性能研究 | 第52-65页 |
| ·梯度薄膜制备 | 第52-53页 |
| ·XPS成分分析 | 第53-55页 |
| ·薄膜表层相结构 | 第55-56页 |
| ·梯度薄膜电化学性能 | 第56-60页 |
| ·梯度薄膜的摩擦学性能 | 第60-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第四章 Al离子元素注入对TiN薄膜性能的影响 | 第66-84页 |
| ·样品设计与制备 | 第66-67页 |
| ·离子注入对TiN薄膜电化学腐蚀性能的影响 | 第67-76页 |
| ·铝离子注入对TiN薄膜电化学腐蚀性能的影响 | 第67页 |
| ·铝离子注入剂量的影响 | 第67-70页 |
| ·薄膜表面成分分析 | 第70-71页 |
| ·薄膜表面结构及应力分析 | 第71-73页 |
| ·热处理TiN样品电化学腐蚀性能 | 第73-74页 |
| ·热处理TiN样品成分分析 | 第74-75页 |
| ·铝离子注入影响TiN薄膜腐蚀性能的机制探讨 | 第75-76页 |
| ·离子注入对TiN薄膜氧化性能的影响 | 第76-80页 |
| ·铝离子注入对TiN薄膜氧化性能的影响 | 第76-78页 |
| ·氧化膜表面相结构分析 | 第78页 |
| ·铝离子注入影响TiN薄膜氧化性能的机制 | 第78-80页 |
| ·铝离子注入对TiN色度的影响 | 第80-82页 |
| ·铝离子注入剂量对色度的影响 | 第80-81页 |
| ·表面成分和相结构的影响 | 第81-82页 |
| ·铝离子注入影响TiN薄膜颜色的机制探讨 | 第82页 |
| ·本章小结 | 第82-84页 |
| 第五章 稀土元素注入对ZrN薄膜性能的影响 | 第84-112页 |
| ·离子注入对ZrN薄膜电化学腐蚀性能的影响 | 第85-95页 |
| ·钇离子注入对ZrN薄膜电化学腐蚀性能的影响 | 第85-88页 |
| ·铈离子注入对ZrN薄膜电化学腐蚀性能的影响 | 第88-93页 |
| ·钇、铈离子注入对ZrN薄膜耐腐蚀性能比较 | 第93-95页 |
| ·离子注入对ZrN薄膜氧化性能的影响 | 第95-106页 |
| ·钇离子注入对ZrN薄膜氧化性能的影响 | 第95-100页 |
| ·铈离子注入对ZrN薄膜氧化性能的影响 | 第100-105页 |
| ·钇、铈离子注入对ZrN薄膜抗氧化性能比较 | 第105-106页 |
| ·离子注入对ZrN薄膜色度的影响 | 第106-110页 |
| ·钇离子注入对ZrN薄膜色度的影响 | 第106-108页 |
| ·铈离子注入对ZrN薄膜色度的影响 | 第108-110页 |
| ·钇、铈离子注入对ZrN薄膜色度影响比较研究 | 第110页 |
| ·本章小结 | 第110-112页 |
| 结论 | 第112-113页 |
| 参考文献 | 第113-121页 |
| 致谢及声明 | 第121-122页 |
| 个人简历、在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第122-123页 |
