| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1 章 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·铁电薄膜研究的发展历史和现状 | 第8-9页 |
| ·铁电薄膜材料的应用 | 第9-11页 |
| ·铁电薄膜制备技术的选择 | 第11-14页 |
| ·射频磁控溅射(RF Sputtering) | 第12页 |
| ·脉冲激光沉积法(PLD) | 第12页 |
| ·金属有机物化学气象沉积(MOCVD) | 第12-13页 |
| ·溶胶－凝胶法(Sol-Gel Process) | 第13-14页 |
| ·铁电薄膜的材料选择 | 第14页 |
| ·研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 Ba_2TiSi_2O_8薄膜的溶胶凝胶工艺研究 | 第16-26页 |
| ·引言 | 第16-19页 |
| ·Ba_2TiSi_2O_8晶体的研究历史和现状 | 第16-17页 |
| ·Ba_2TiSi_2O_8晶体的结构和性质 | 第17-18页 |
| ·Ba_2TiSi_2O_8薄膜应用前景 | 第18-19页 |
| ·溶胶凝胶工艺研究及薄膜的制备 | 第19-25页 |
| ·前躯体溶液的原料选择 | 第19-20页 |
| ·溶胶凝胶法的反应机理 | 第20-22页 |
| ·前躯体溶液的合成工艺过程及粉末的制备 | 第22-23页 |
| ·BTS薄膜的制备 | 第23-25页 |
| ·基片的选择与清洗 | 第23-24页 |
| ·薄膜的制备过程 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 Ba_2TiSi_2O_8薄膜的结构和形貌分析 | 第26-46页 |
| ·结构形貌分析方法 | 第26-29页 |
| ·热分析(DTA - TGA) | 第26-27页 |
| ·傅立叶红外分析(FTIR) | 第27页 |
| ·激光拉曼光谱分析(Raman) | 第27-28页 |
| ·X射线衍射分析(XRD) | 第28-29页 |
| ·原子力显微镜分析(AFM) | 第29页 |
| ·结果与讨论 | 第29-45页 |
| ·粉末的实验结果分析 | 第29-33页 |
| ·粉末的热分析 | 第29-30页 |
| ·粉末的傅立叶红外分析 | 第30-31页 |
| ·粉末的拉曼光谱分析 | 第31-33页 |
| ·粉末的XRD分析 | 第33页 |
| ·薄膜的结构与形貌研究 | 第33-42页 |
| ·红外光谱分析 | 第33-37页 |
| ·拉曼光谱分析 | 第37页 |
| ·紫外反射光谱分析 | 第37-38页 |
| ·XRD分析 | 第38-41页 |
| ·原子力显微镜分析 | 第41-42页 |
| ·BTS薄膜的形成机理 | 第42-43页 |
| ·薄膜定向度随热处理温度和时间的变化 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 Ba_2TiSi_2O_8溶胶凝胶层对溅射薄膜结构的影响 | 第46-52页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·实验过程 | 第46-47页 |
| ·sol-gel过渡层的制备 | 第46页 |
| ·Ba_2TiSi_2O_8薄膜的溅射法制备 | 第46-47页 |
| ·结果与讨论 | 第47-51页 |
| ·对薄膜结晶度的影响 | 第47-49页 |
| ·拉曼光谱的分析 | 第47-48页 |
| ·X射线衍射的分析 | 第48-49页 |
| ·对薄膜形貌的影响 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 (Pb_(0.76)Ca_(0.24))TiO_3薄膜的制备及结构研究 | 第52-68页 |
| ·引言 | 第52-55页 |
| ·(Pb,Ca)TiO_3材料的特点 | 第52-54页 |
| ·(Pb,Ca)TiO_3材料的研究历史和现状 | 第54-55页 |
| ·实验过程 | 第55-57页 |
| ·前驱体溶液的合成 | 第55-56页 |
| ·粉末和薄膜的制备 | 第56页 |
| ·结构形貌表征方法 | 第56-57页 |
| ·粉末的分析 | 第57-59页 |
| ·PCT凝胶至结晶的转变过程 | 第57-58页 |
| ·粉末的XRD分析 | 第58-59页 |
| ·热处理制度对薄膜结构的影响 | 第59-65页 |
| ·拉曼光谱的分析 | 第60-63页 |
| ·X射线衍射分析 | 第63-65页 |
| ·PCT薄膜的形貌分析 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 总结 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
