| 提要 | 第1-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·气体传感器分类 | 第9-13页 |
| ·微结构气体传感器研究的意义 | 第13-15页 |
| ·微结构气体传感器的现状及发展趋势 | 第15-21页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第21-22页 |
| ·小结 | 第22-23页 |
| 第二章 微结构气体传感器的结构设计 | 第23-61页 |
| ·微热板设计中的工具介绍 | 第23-45页 |
| ·微热板的设计概述 | 第23-24页 |
| ·ANSYS 软件简介 | 第24-25页 |
| ·ANSYS 的热分析简介 | 第25-26页 |
| ·ANSYS 稳态热分析的基本过程 | 第26-33页 |
| ·ANSYS 稳态热分析实例 | 第33-45页 |
| ·微热板的设计与优化 | 第45-57页 |
| ·结构设计 | 第45-47页 |
| ·基底材料的选择 | 第47-50页 |
| ·基底各层厚度的模拟 | 第50-54页 |
| ·电极宽度与间距的确定 | 第54-55页 |
| ·版图的设计 | 第55-57页 |
| ·微热版的制作 | 第57-59页 |
| ·小结 | 第59-61页 |
| 第三章 微小区域测温系统的建立与应用 | 第61-71页 |
| ·光功率计探测温度的工作原理 | 第61-63页 |
| ·微小基片表面温度测试系统的建立 | 第63-66页 |
| ·模拟结果与测试结果的比照 | 第66-70页 |
| ·小结 | 第70-71页 |
| 第四章 微结构乙醇气敏元件特性的研究 | 第71-92页 |
| ·La_(0.7)Sr_(0.3)FeO_3 敏感材料的合成与表征 | 第71-73页 |
| ·微结构乙醇气体传感器的制作 | 第73-75页 |
| ·微结构气体传感器的测试与优化 | 第75-83页 |
| ·微结构气体传感器的测试 | 第75-81页 |
| ·四种类型微传感器及常规烧结型传感器的比较 | 第81-82页 |
| ·微结构气体传感器的优化 | 第82-83页 |
| ·Ⅴ型乙醇微气体传感器的测试 | 第83-87页 |
| ·最佳工作条件的确定 | 第83-86页 |
| ·灵敏度与浓度的关系 | 第86页 |
| ·温度与功耗关系 | 第86-87页 |
| ·Ⅴ型乙醇微气体传感器与常规烧结型气体传感器比较 | 第87-90页 |
| ·常规烧结型气体传感器简介 | 第87-88页 |
| ·特性的比较 | 第88-89页 |
| ·功耗的比较 | 第89-90页 |
| ·小结 | 第90-92页 |
| 第五章 微结构 CO 气敏元件特性的研究 | 第92-115页 |
| ·SnO_2 气敏材料的制备与表征 | 第92-94页 |
| ·微结构CO 气体传感器的制作 | 第94-95页 |
| ·微结构气体传感器的测试 | 第95-102页 |
| ·Ⅴ型CO 微气体传感器气敏感特性的研究 | 第95-99页 |
| ·Ⅵ型CO 微气体传感器气敏感特性的研究 | 第99-102页 |
| ·微结构气敏元件与常规烧结型气敏元件比较 | 第102-109页 |
| ·Ⅴ型CO 微气体传感器与常规烧结型气体传感器比较 | 第102-105页 |
| ·Ⅵ型CO 微气体传感器与常规烧结型气体传感器比较 | 第105-107页 |
| ·Ⅴ型与Ⅵ型微CO 气体传感器比较 | 第107-109页 |
| ·敏感机理分析 | 第109-113页 |
| ·基本模型 | 第109-110页 |
| ·SnO_2半导体气敏元件的工作原理 | 第110-113页 |
| ·SnO_2 的敏感机理 | 第113页 |
| ·小结 | 第113-115页 |
| 第六章 结论 | 第115-119页 |
| 参考文献 | 第119-129页 |
| 攻读博士学位期间发表论文及参与项目 | 第129-131页 |
| 致谢 | 第131-132页 |
| 摘要 | 第132-135页 |
| ABSTRACT | 第135-137页 |
