| 提要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-30页 |
| ·气体传感器的概述 | 第7-9页 |
| ·气体传感器的历史及分类 | 第9-13页 |
| ·微结构气体传感器及低维纳米材料发展状况与趋势 | 第13-27页 |
| ·微结构气体传感器发展状况与趋势 | 第13-20页 |
| ·低维纳米材料的发展状况与趋势 | 第20-27页 |
| ·本论文的研究意义及主要工作 | 第27-30页 |
| ·研制微结构气敏元件的意义 | 第27-28页 |
| ·研制乙炔气敏元件的意义 | 第28-30页 |
| 第二章 SnO_2敏感材料的制备及表征 | 第30-35页 |
| ·SnO_2敏 敏感材料简介 | 第30-31页 |
| ·SnO_2材 材料的制备 | 第31-32页 |
| ·制备过程 | 第32页 |
| ·反应原理 | 第32页 |
| ·SnO_2材 材料的表征 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 低功耗微结构CO 气敏元件的研制 | 第35-58页 |
| ·微结构气敏元件的结构设计及制作工艺流程 | 第35-48页 |
| ·微结构气敏元件的结构设计与优化 | 第35-46页 |
| ·微结构的制作工艺流程 | 第46-48页 |
| ·基于SnO_2材料的微结构CO气敏元件的制作过程 | 第48-50页 |
| ·微结构CO气敏元件的测试及结果 | 第50-57页 |
| ·气敏元件的特性参数及测试电路 | 第50-52页 |
| ·测试结果与功耗的讨论 | 第52-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第四章 高选择性烧结型C_2H_2气敏元件的研制 | 第58-72页 |
| ·基于SnO_2材料的烧结型C_2H_2气敏元件的制作过程 | 第58-60页 |
| ·烧结型C_2H_2气敏元件的测试及结果 | 第60-68页 |
| ·C_2H_2气敏元件敏感机理的讨论 | 第68-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第五章 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 摘要 | 第78-80页 |
| ABSTRACT | 第80-82页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |