等厚干涉仪对大尺寸平面度的数字化测量
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1. 引言 | 第7-10页 |
| ·课题背景 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-9页 |
| ·本论文主要研究内容和项目预期目标 | 第9-10页 |
| 2. 平晶与平面度计量器具检定系统 | 第10-23页 |
| ·干涉仪 | 第10-14页 |
| ·等倾和等厚干涉的基本原理 | 第11-12页 |
| ·用于平晶检定的干涉仪 | 第12-14页 |
| ·平晶的类型与检定方法 | 第14-19页 |
| ·多面互检 | 第15-16页 |
| ·等倾干涉 | 第16-17页 |
| ·等厚干涉 | 第17-19页 |
| ·几种检定方法的对比 | 第19-20页 |
| ·等厚干涉仪的基本类型 | 第20-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3. C4-1型等厚干涉仪的改造 | 第23-34页 |
| ·C4-1型等厚干涉仪的光路结构 | 第23-25页 |
| ·光源的改造 | 第25-26页 |
| ·激光光源 | 第25页 |
| ·扩束系统 | 第25-26页 |
| ·标准平晶支架的设计安装 | 第26-27页 |
| ·接收部分的改造 | 第27-30页 |
| ·CCD相机 | 第28页 |
| ·CCD镜头 | 第28-30页 |
| ·无干涉条纹情况的分析解决 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4. 条纹图像处理及测量算法 | 第34-49页 |
| ·图像的相减 | 第35-36页 |
| ·图像的增强 | 第36-41页 |
| ·灰度变换及γ校正 | 第36-37页 |
| ·图像的滤波 | 第37-41页 |
| ·图像的形态学处理 | 第41-44页 |
| ·图像的二值化 | 第41-42页 |
| ·图像的腐蚀和膨胀 | 第42-43页 |
| ·图像的开、闭运算 | 第43-44页 |
| ·图像的细化算法 | 第44-46页 |
| ·条纹修整 | 第46页 |
| ·条纹标记 | 第46-47页 |
| ·平面度的计算 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5. 平晶平面度测量步骤与长平晶平面度分段测量 | 第49-54页 |
| ·平面度测量步骤 | 第49-50页 |
| ·仪器使用前的调整 | 第49页 |
| ·测量 | 第49-50页 |
| ·长平晶平面度分段测量 | 第50-53页 |
| ·分段测量的方法 | 第50-52页 |
| ·长平晶分段测量操作 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 6. 不确定度分析 | 第54-59页 |
| ·平面平晶 | 第54-56页 |
| ·数学模型 | 第54-55页 |
| ·不确定度来源 | 第55-56页 |
| ·合成标准不确定度 | 第56页 |
| ·长平晶 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 7. 总结 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 附录 | 第64-71页 |
