镀膜小孔点衍射干涉仪的设计与调试
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-16页 |
| ·课题研究的背景 | 第7页 |
| ·点衍射技术研究意义 | 第7-9页 |
| ·现代高精度面形检测方法综述 | 第9-13页 |
| ·国内外发展现状与趋势 | 第13-14页 |
| ·本文研究主要内容 | 第14-16页 |
| 2 点衍射干涉仪的类别及分析 | 第16-24页 |
| ·点衍射干涉仪的基本原理 | 第16-17页 |
| ·镀膜小孔点衍射干涉仪 | 第17-19页 |
| ·光纤点衍射干涉仪 | 第19-22页 |
| ·单光纤点衍射干涉仪 | 第19-21页 |
| ·双光纤点衍射干涉仪 | 第21-22页 |
| ·光栅点衍射干涉仪 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 镀膜小孔点衍射干涉仪误差来源及分析 | 第24-35页 |
| ·移相算法分析 | 第24-26页 |
| ·移相干涉术 | 第24-25页 |
| ·移相算法对误差的抑制 | 第25-26页 |
| ·测量光与参考光不重合产生的误差 | 第26-30页 |
| ·激光光源不稳定引起的测量误差 | 第30页 |
| ·PZT移相不均匀引发的误差 | 第30-31页 |
| ·CCD探测器引起的误差 | 第31-33页 |
| ·环境扰动引起的误差 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 4 小孔衍射板的制作与参数测量 | 第35-44页 |
| ·小孔衍射板薄膜的镀制 | 第35-37页 |
| ·小孔的光刻及刻蚀 | 第37-40页 |
| ·光刻工艺过程 | 第37-39页 |
| ·小孔区域的刻蚀 | 第39-40页 |
| ·小孔参数的测量 | 第40-43页 |
| ·Wyko NT9100轮廓仪测量原理 | 第40-42页 |
| ·小孔直径和形貌的测量 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 5 点衍射干涉测量系统实验及测量 | 第44-60页 |
| ·镀膜小孔点衍射干涉仪实验装置方案设计 | 第44-45页 |
| ·整体实验系统 | 第45-46页 |
| ·重要组件的选取及调节 | 第46-51页 |
| ·激光器 | 第46-47页 |
| ·小孔衍射板及其调节系统 | 第47-49页 |
| ·干涉图采集系统 | 第49-51页 |
| ·实验及其测量结果 | 第51-52页 |
| ·小孔衍射球面波质量的测量 | 第52-58页 |
| ·夏克哈特曼波前传感器基本原理 | 第52-53页 |
| ·总体方案设计及实验系统 | 第53-54页 |
| ·衍射球面波的测量及分析 | 第54-56页 |
| ·Zygo干涉仪对系统误差的标定 | 第56页 |
| ·系统误差的实验测量 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 6 结论及展望 | 第60-62页 |
| ·本文工作的总结 | 第60页 |
| ·不足和展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文情况 | 第67页 |
