超薄硅片切割液特性及废砂浆的资源化研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·超薄硅片切割液的发展概况 | 第8-9页 |
| ·太阳电池的发展及硅片切割技术 | 第8-9页 |
| ·切割液概述 | 第9页 |
| ·废砂浆的资源化研究概况 | 第9-14页 |
| ·废砂浆回收利用的发展 | 第9-11页 |
| ·水力旋流器的概况 | 第11-13页 |
| ·水力旋流器数字模拟的研究现状 | 第13-14页 |
| ·本文研究的目的和主要任务 | 第14-16页 |
| ·本文研究的目的 | 第14-15页 |
| ·本文主要内容 | 第15-16页 |
| 第二章 超薄硅片切割液的性能研究 | 第16-29页 |
| ·主要实验仪器及药品 | 第16页 |
| ·实验药品 | 第16页 |
| ·主要实验仪器 | 第16页 |
| ·切割液主要成分的筛选和配制 | 第16-18页 |
| ·分散剂的选用 | 第17页 |
| ·渗透剂的选用 | 第17页 |
| ·防锈缓蚀剂的选用 | 第17-18页 |
| ·螯合剂的选用 | 第18页 |
| ·切割液基本组成的配制 | 第18-20页 |
| ·基本组成成分 | 第18页 |
| ·切割液组成配方筛选的实验方法 | 第18-19页 |
| ·切割液组成配方实验结果与讨论 | 第19-20页 |
| ·切割液中其他组分的选择 | 第20-23页 |
| ·切割液中防锈剂的选择性实验 | 第20-22页 |
| ·切割液中渗透剂的选择性实验 | 第22-23页 |
| ·切割液组成成分的确定 | 第23页 |
| ·切割砂浆的性能研究 | 第23-26页 |
| ·硅片切割砂浆切割硅片质量评价 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 切割废砂浆的资源化研究 | 第29-41页 |
| ·研究目的 | 第29页 |
| ·切割废砂浆资源化的基本原理与工艺流程 | 第29-30页 |
| ·切割废砂浆资源化的实验 | 第30-31页 |
| ·实验药品和实验仪器 | 第30-31页 |
| ·实验步骤 | 第31页 |
| ·废砂浆资源化的实验结果与讨论 | 第31-40页 |
| ·脱色剂的选择 | 第31-33页 |
| ·离子交换实验对电导率的影响 | 第33-34页 |
| ·气相色谱测定固体中的液体残余量 | 第34-36页 |
| ·氢氧化钠除硅实验 | 第36-37页 |
| ·硅酸钠溶液模数的测定 | 第37-38页 |
| ·碳化硅微粉的清洗 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 水力旋流器数值模拟与实验验证 | 第41-63页 |
| ·模型的选择 | 第41-42页 |
| ·湍流模型 | 第41-42页 |
| ·混合模型 | 第42页 |
| ·模型的数学分析 | 第42-44页 |
| ·湍流模型的数学分析 | 第42-43页 |
| ·混合模型的数学分析 | 第43-44页 |
| ·建立模型 | 第44-48页 |
| ·几何条件及网格划分 | 第44-46页 |
| ·初始条件的定义 | 第46-47页 |
| ·边界条件的设置 | 第47-48页 |
| ·全柱型水力旋流器数模拟结果 | 第48-52页 |
| ·体积云图 | 第48-49页 |
| ·不同因素对柱型水力旋流器分离效率的影响 | 第49-51页 |
| ·其他分布图 | 第51-52页 |
| ·小结 | 第52页 |
| ·长锥型水力旋流器的数值模拟结果 | 第52-59页 |
| ·不同因素模拟结果的比较 | 第52-55页 |
| ·各因素对长锥型水力旋流器分离效率的影响 | 第55-57页 |
| ·速度场的数值模拟 | 第57-59页 |
| ·放大试验 | 第59-62页 |
| ·实验装置 | 第59-60页 |
| ·实验方法 | 第60-61页 |
| ·实验结果与分析 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 结论 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 附录:作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第69页 |