| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-35页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·基于X 射线衍射技术的织构表征方法的研究现状 | 第14-16页 |
| ·择优取向参数法 | 第14-15页 |
| ·极图法 | 第15页 |
| ·反极图法 | 第15页 |
| ·三维取向分布函数(ODF)法 | 第15-16页 |
| ·回摆扫描法 | 第16页 |
| ·基于X 射线衍射技术的残余应力表征的研究现状 | 第16-25页 |
| ·X 射线衍射几何的研究现状 | 第17-19页 |
| ·晶粒间相互作用模型的研究现状 | 第19-25页 |
| ·取向和残余应力对PZT 薄膜物理性能影响的研究现状 | 第25-34页 |
| ·准同型相界附近PZT 相变行为及铁电性的实验研究现状 | 第26-31页 |
| ·准同型相界附近PZT 相变及物理性能的热力学研究现状 | 第31-34页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第34-35页 |
| 第2章 试验材料及研究方法 | 第35-39页 |
| ·试验材料及薄膜沉积设备 | 第35-36页 |
| ·基底材料 | 第35页 |
| ·薄膜沉积设备 | 第35-36页 |
| ·薄膜材料的制备及工艺参数 | 第36-37页 |
| ·Pt 薄膜的制备及工艺参数 | 第36-37页 |
| ·溶胶凝胶法制备PZT 薄膜及工艺参数 | 第37页 |
| ·研究方法 | 第37-39页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第37页 |
| ·显微组织扫描电子显微镜观察 | 第37-38页 |
| ·铁电性能测量 | 第38-39页 |
| 第3章 丝织构的简便定性及定量表征 | 第39-53页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·丝织构的择优取向与任一晶面的法线之间的关系 | 第39-41页 |
| ·X 射线衍射ω扫描模式 | 第41-42页 |
| ·X 射线衍射ω扫描得到的衍射强度的物理意义 | 第42-43页 |
| ·基于X 射线衍射ω扫描模式的丝织构表征方法 | 第43-47页 |
| ·定性表征方法 | 第43-46页 |
| ·定量表征方法 | 第46-47页 |
| ·ω扫描方法表征丝织构的实验验证 | 第47-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 局域晶粒间相互作用模型与具有丝织构的薄膜中应力表征 | 第53-66页 |
| ·引言 | 第53-54页 |
| ·局域晶粒间相互作用模型的建立 | 第54-59页 |
| ·局域Voigt 模型 | 第55-56页 |
| ·局域Reuss 模型 | 第56-58页 |
| ·关于局域Voigt 模型和Reuss 模型的讨论 | 第58-59页 |
| ·局域模型表征具有丝织构的薄膜中残余应力的实验验证 | 第59-64页 |
| ·晶面311、222 和331 的取向概率分布函数 | 第60-62页 |
| ·基于局域模型的Pt 薄膜中残余应力表征及结果讨论 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第5章 丝织构和残余应力对钙钛矿型铁电功能薄膜体系性能影响 | 第66-90页 |
| ·引言 | 第66-67页 |
| ·坐标系及坐标转换矩阵 | 第67-68页 |
| ·织构和残余应力对多晶 2-2 型 BaTiO_3/CoFe_2O_4 多铁复合功能薄膜磁电耦合性能的影响 | 第68-81页 |
| ·具有丝织构的铁磁相中的磁致伸缩应变 | 第69-71页 |
| ·具有丝织构的铁电相中的应力状态 | 第71-72页 |
| ·具有丝织构的铁电相中的吉布斯自由能和极化强度 | 第72-73页 |
| ·数值模拟及结果讨论 | 第73-81页 |
| ·织构和残余应力对多晶PbTiO_3 铁电薄膜相变行为的影响 | 第81-88页 |
| ·具有丝织构的PbTiO_3 薄膜中的吉布斯自由能和相变温度变化 | 第82-84页 |
| ·数值模拟与结果讨论 | 第84-88页 |
| ·本章小结 | 第88-90页 |
| 第6章 PZT 52/48 铁电薄膜的物相组成及其铁电性能的研究 | 第90-108页 |
| ·引言 | 第90页 |
| ·PZT 52/48 薄膜的形貌组织及择优取向 | 第90-93页 |
| ·PZT 52/48 薄膜的形貌组织 | 第90-92页 |
| ·PZT 52/48 薄膜的择优取向 | 第92-93页 |
| ·(001)取向PZT 52/48 薄膜中的物相组成研究 | 第93-101页 |
| ·(001)取向PZT 52/48 薄膜中的物相组成的确定 | 第93-97页 |
| ·(001)取向PZT 52/48 薄膜相变弥散起因的定性讨论 | 第97-101页 |
| ·(001)取向PZT 52/48 薄膜极化性能研究 | 第101-103页 |
| ·(001)取向PZT 52/48 薄膜热释电性能研究 | 第103-107页 |
| ·本章小结 | 第107-108页 |
| 结论 | 第108-110页 |
| 参考文献 | 第110-121页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第121-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 个人简历 | 第124页 |
