硅基梳齿式MEMS电容式加速度计的失效与DPA研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-32页 |
| ·MEMS技术 | 第12-17页 |
| ·MEMS技术发展及特点 | 第13-14页 |
| ·MEMS产品化与市场 | 第14-15页 |
| ·典型的MEMS加工工艺技术 | 第15-17页 |
| ·MEMS加速度计工作原理 | 第17-19页 |
| ·MEMS常见失效机理 | 第19-28页 |
| ·机械断裂 | 第20-22页 |
| ·粘附 | 第22-26页 |
| ·磨损 | 第26-27页 |
| ·疲劳 | 第27-28页 |
| ·电子元器件的失效分析与DPA技术 | 第28-30页 |
| ·问题的提出与主要研究内容 | 第30-32页 |
| ·问题的提出 | 第30-31页 |
| ·主要研究内容 | 第31-32页 |
| 第二章 实验过程及设计 | 第32-38页 |
| ·样品及仪器设备 | 第32-35页 |
| ·样品采集与说明 | 第32-33页 |
| ·试验器材和设备 | 第33-35页 |
| ·环境试验条件 | 第35-38页 |
| ·高温贮存试验规范 | 第35页 |
| ·低温贮存试验规范 | 第35页 |
| ·温度冲击试验规范 | 第35页 |
| ·冲击（规定脉冲）试验规范 | 第35-36页 |
| ·振动试验规范 | 第36页 |
| ·耐湿试验规范 | 第36-37页 |
| ·长时间加电试验规范 | 第37-38页 |
| 第三章 硅基梳齿式MEMS的失效研究 | 第38-53页 |
| ·失效样品分类 | 第39页 |
| ·结构级失效调查 | 第39-49页 |
| ·梳齿上翘 | 第39-40页 |
| ·梳齿断裂 | 第40-42页 |
| ·有蚀坑电容检测不合格品分析 | 第42-45页 |
| ·结构尺寸较细的电容检测不合格品 | 第45-46页 |
| ·结构完整的电容检测不合格品 | 第46-48页 |
| ·标准缺陷 | 第48-49页 |
| ·管芯级失效调查 | 第49-52页 |
| ·声学扫描显微镜观察 | 第49-50页 |
| ·X-RAY透射检查 | 第50-51页 |
| ·内部水汽分析 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 硅基梳齿式MEMS在冲击与振动下的研究 | 第53-65页 |
| ·冲击下的失效 | 第53-58页 |
| ·结构失效 | 第53-56页 |
| ·封装失效 | 第56-58页 |
| ·ANSYS模拟 | 第58-62页 |
| ·PIND研究 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 缺陷硅基梳齿式MEMS的可靠性评价 | 第65-76页 |
| ·特薄悬臂梁样品的评价 | 第66-71页 |
| ·缺陷样品制作 | 第66-67页 |
| ·环境试验分析 | 第67-71页 |
| ·悬臂梁划痕样品的评价 | 第71-75页 |
| ·缺陷样品制作 | 第71-73页 |
| ·环境试验分析 | 第73-74页 |
| ·连续冲击试验分析 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 结论 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-82页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
