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非球面超精密在位测量与误差补偿磨削及抛光技术研究

摘要第1-7页
Abstract第7-14页
插图索引第14-19页
附表索引第19-20页
论文中主要符号列表第20-23页
第1章 绪论第23-44页
   ·研究背景第23-40页
     ·非球面应用第23-24页
     ·国内外非球面超精密加工技术概述第24-31页
     ·非球面的超精密测量技术发展现状第31-34页
     ·误差补偿加工技术研究状况第34-39页
     ·非球面超精密磨削、测量与误差补偿加工中存在的问题第39-40页
   ·课题来源与研究意义第40-41页
     ·课题来源第40-41页
     ·研究意义第41页
   ·主要研究内容第41-43页
   ·本章小结第43-44页
第2章 非球面形状的在位测量系统第44-73页
   ·引言第44页
   ·非球面形状在位测量原理第44-46页
   ·非球面形状测量装置第46-51页
     ·在位测量装置第46-47页
     ·在位测量过程第47-49页
     ·测量数据的迭代计算第49-51页
     ·数据测量方法第51页
   ·测量误差的分析第51-54页
     ·测头曲率半径误差影响第51-52页
     ·被测物对称轴的半径方向误差影响第52页
     ·被测物对称轴的倾斜误差影响第52-53页
     ·弹性变形的测量误差影响第53-54页
   ·非球面测量数据的处理第54-72页
     ·测量数据去噪处理第55-57页
     ·测量数据滤波处理第57-67页
     ·测量数据拟合处理第67-72页
   ·本章小结第72-73页
第3章 非球面加工对刀误差及砂轮尺寸误差分析第73-100页
   ·引言第73页
   ·非球面方程与磨削形式第73-76页
     ·非球面方程表达方式第73-75页
     ·非球面磨削方式第75-76页
   ·砂轮中心位置Y误差分析第76-81页
     ·Y方向正负误差的判别第76-78页
     ·Y方向误差对工件形状的影响第78-80页
     ·Y方向误差对工件中心形状的影响第80-81页
   ·砂轮中心位置X方向误差分析第81-84页
     ·球面加工时X方向误差分析第82-83页
     ·非球面加工时X方向误差分析第83-84页
   ·B轴角度误差分析第84-89页
     ·圆弧砂轮B轴角度误差分析第84-87页
     ·直角砂轮B轴角度误差分析第87-89页
   ·砂轮半径误差分析第89-93页
   ·砂轮磨损分析与补偿第93-98页
     ·砂轮磨损分类第93-94页
     ·砂轮磨损测试方法第94-95页
     ·砂轮磨损时半径的最佳拟合第95-97页
     ·砂轮磨损状况分析第97-98页
   ·X轴、偏角、磨损与半径误差分离第98页
   ·本章小结第98-100页
第4章 非球面磨削过程形状误差补偿方法第100-121页
   ·引言第100页
   ·法向误差函数的生成第100-105页
     ·法向残余误差的求解第100-101页
     ·最小二乘法的多项式拟合曲线与目标曲线的交点第101-102页
     ·NURBS拟合曲线与目标曲线的交点第102-104页
     ·不同法向残余误差求解的比较第104-105页
   ·常用的超精密磨削补偿第105-108页
     ·直接补偿法第106-107页
     ·平行磨削补偿法第107-108页
   ·XZ两轴联动磨削补偿方法第108-113页
     ·直交轴磨削两轴联动对称法补偿第108-110页
     ·斜轴磨削两轴联动矢量误差补偿第110-113页
   ·XZB三轴联动磨削的法向补偿第113-114页
   ·补偿磨削方式的选择第114-115页
   ·速度控制磨削第115-120页
     ·磨削深度与速度关系第115-117页
     ·进给速度控制模型第117-120页
   ·误差补偿法的应用第120页
   ·本章小结第120-121页
第5章 非球面磨削与误差补偿软件第121-138页
   ·引言第121页
   ·软件的设计思想和总体结构第121-124页
   ·软件的主要功能模块第124-137页
     ·主界面控制模块第124-125页
     ·测量模块第125-127页
     ·数据处理与显示模块第127-135页
     ·仿真模块第135页
     ·修正代码处理模块第135-137页
   ·本章小结第137-138页
第6章 超精密磨削与误差补偿加工实验第138-158页
   ·引言第138页
   ·XZ两轴联动直交轴球面误差补偿第138-141页
     ·XZ直交轴误差补偿磨削条件第138-139页
     ·XZ直交轴误差补偿磨削过程第139-140页
     ·XZ直交轴误差补偿磨削结果与分析第140-141页
   ·XZ两轴联动斜轴非球面补偿磨削第141-147页
     ·XZ斜轴磨削条件第141-143页
     ·XZ斜轴未补偿磨削结果第143-144页
     ·XZ斜轴补偿磨削结果与分析第144-147页
   ·XZB三轴联动斜轴球面误差补偿第147-149页
     ·XZB三轴联动斜轴球面补偿磨削条件第147-148页
     ·XZB三轴斜轴球面补偿磨削结果第148-149页
   ·XZB轴对称非球面误差补偿第149-153页
     ·XZB斜轴非球面误差补偿磨削条件第149-150页
     ·XZB斜轴非球面误差补偿磨削策略第150-151页
     ·XZB斜轴非球面误差补偿磨削结果第151-153页
   ·在位测量与离线测量对比第153-156页
   ·本章小结第156-158页
第7章 复合磁性流体斜轴抛光及修正第158-175页
   ·引言第158页
   ·磁性复合流体斜轴抛光加工机理第158-172页
     ·磁性复合流体斜轴抛光装置第158-160页
     ·磁性复合流体斜轴抛光工作原理第160-162页
     ·磁性复合流体加工数学模型第162-172页
   ·磁性复合流体循环系统第172-173页
   ·复合磁性流体斜轴抛光方法优势第173-174页
   ·本章小结第174-175页
总结与展望第175-178页
参考文献第178-195页
致谢第195-197页
附录A 攻读博士学位期间所发表的学术论文第197-200页
附录B 攻读博士学位期间所申请的专利第200-201页
附录C 攻读博士学位期间参与项目第201页

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