一款MEMS加速度计读出电路的研究与设计
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 符号对照表 | 第12-13页 |
| 缩略语对照表 | 第13-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-22页 |
| 1.1 MEMS传感器背景及研究意义 | 第16-17页 |
| 1.2 微机械加速度传感器国内外发展现状及趋势 | 第17-19页 |
| 1.2.1 国内研究动态 | 第17-18页 |
| 1.2.2 国外研究动态 | 第18页 |
| 1.2.3 未来发展趋势 | 第18-19页 |
| 1.3 本论文主要研究任务 | 第19-22页 |
| 第二章 MEMS加速度计读出电路 | 第22-26页 |
| 2.1 MEMS加速度计传感器简述 | 第22-23页 |
| 2.2 MEMS电容式微加速度计模型与工作原理 | 第23-26页 |
| 第三章 加速度计读出电路实现原理与非理想因素消除 | 第26-42页 |
| 3.1 单端电容式读出电路分析 | 第26-30页 |
| 3.1.1 连续时间电压检测电路 | 第26-27页 |
| 3.1.2 连续时间电流检测电路 | 第27-29页 |
| 3.1.3 开关电容电荷检测电路 | 第29-30页 |
| 3.2 差分式读出电路分析 | 第30-32页 |
| 3.3 读出电路非理想因素及消除 | 第32-36页 |
| 3.3.1 电荷注入效应 | 第32-33页 |
| 3.3.2 时钟馈通 | 第33页 |
| 3.3.3 积分器噪声和失调 | 第33-35页 |
| 3.3.4 开关引入的误差消除 | 第35-36页 |
| 3.4 开关电容电路噪声 | 第36-39页 |
| 3.5 开关电容等效电阻 | 第39-42页 |
| 第四章 加速度计传感器读出电路设计与模块仿真 | 第42-82页 |
| 4.1 运算放大器设计与仿真 | 第43-48页 |
| 4.1.1 运算放大器的设计 | 第43-46页 |
| 4.1.2 运算放大器噪声分析 | 第46-47页 |
| 4.1.3 运算放大器的仿真 | 第47-48页 |
| 4.2 共模反馈电路的设计 | 第48-50页 |
| 4.3 可变增益全差分开关电容读出电路 | 第50-63页 |
| 4.3.1 采用CDS的开关电容电路特性分析 | 第50-54页 |
| 4.3.2 全差分SC可变增益电荷放大电路 | 第54-56页 |
| 4.3.3 读出电路差模、共模分析 | 第56-59页 |
| 4.3.4 闭环反馈系数 | 第59-60页 |
| 4.3.5 可变增益放大器仿真 | 第60-63页 |
| 4.4 时钟模块电路设计与仿真 | 第63-70页 |
| 4.4.1 张弛振荡器原理与实现 | 第63-67页 |
| 4.4.2 多相非交叠时钟电路设计与仿真 | 第67-70页 |
| 4.5 基准模块电路设计与仿真 | 第70-80页 |
| 4.5.1 电流基准的设计 | 第70-73页 |
| 4.5.2 电压基准的设计 | 第73-80页 |
| 4.6 其它电路的设计与分析 | 第80-82页 |
| 第五章 整体读出电路仿真与版图设计 | 第82-88页 |
| 5.1 整体读出电路仿真 | 第82-84页 |
| 5.2 版图设计 | 第84-88页 |
| 5.2.1 版图设计遵循规则 | 第85-86页 |
| 5.2.2 整体版图的设计 | 第86-88页 |
| 第六章 论文工作总结 | 第88-90页 |
| 6.1 工作总结 | 第88页 |
| 6.2 工作展望 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-94页 |
| 致谢 | 第94-96页 |
| 作者简介 | 第96-97页 |
