| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-27页 |
| ·表面工程学概述 | 第12-14页 |
| ·表面工程学的产生 | 第12页 |
| ·表面工程技术的含义 | 第12-13页 |
| ·表面工程技术的分类 | 第13页 |
| ·表面工程技术的特点与意义 | 第13-14页 |
| ·表面工程技术的应用 | 第14页 |
| ·渗金属技术概述 | 第14-17页 |
| ·渗金属技术与分类 | 第14-15页 |
| ·离子渗金属技术基础 | 第15-17页 |
| ·双层辉光等离子表面合金化技术综述 | 第17-20页 |
| ·双层辉光等离子表面合金化技术原理 | 第18页 |
| ·双辉等离子表面合金化技术的特点 | 第18-19页 |
| ·双层辉光等离子表面合金化技术现状与发展方向 | 第19-20页 |
| ·腐蚀问题概述 | 第20-22页 |
| ·材料腐蚀的危害 | 第20-21页 |
| ·金属腐蚀环境 | 第21页 |
| ·材料腐蚀的分类 | 第21页 |
| ·防腐蚀措施 | 第21-22页 |
| ·磨损问题概述 | 第22-25页 |
| ·磨损机理及分类 | 第22-24页 |
| ·表征材料磨损性能的参量 | 第24-25页 |
| ·TiN 硬质薄膜综述 | 第25-27页 |
| ·TiN 薄膜的特点和用途 | 第25页 |
| ·TiN 薄膜的研究现状 | 第25-27页 |
| 第二章 课题的提出与研究内容 | 第27-38页 |
| ·课题提出的背景及课题的提出 | 第27-33页 |
| ·课题提出的社会背景 | 第27-28页 |
| ·硬质涂层技术的研究现状 | 第28-30页 |
| ·目前制备TiN 涂层的方法及存在的问题 | 第30-31页 |
| ·双辉等离子表面合金化渗镀TiN 技术的优点 | 第31页 |
| ·课题的提出 | 第31-33页 |
| ·课题提出的技术基础 | 第33-35页 |
| ·技术路线 | 第35-36页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第36-38页 |
| 第三章 试验条件与方法 | 第38-42页 |
| ·结构设计 | 第38-39页 |
| ·源极材料形状的选择 | 第38页 |
| ·源极结构的设计 | 第38-39页 |
| ·试验材料 | 第39-40页 |
| ·试验设备 | 第40页 |
| ·试验步骤 | 第40-42页 |
| 第四章 TiN渗镀层工艺试验研究 | 第42-50页 |
| ·双辉等离子合成TiN 渗镀层工艺参数初步制定 | 第42页 |
| ·渗镀TiN 过程中渗Ti 阶段最佳工艺参数的确定 | 第42-44页 |
| ·渗Ti 阶段保温温度的确定 | 第43页 |
| ·渗Ti 阶段源极电压的确定 | 第43页 |
| ·渗Ti 阶段试样电压的确定 | 第43-44页 |
| ·渗Ti 阶段保温时间的确定 | 第44页 |
| ·渗镀TiN 过程中合成阶段最佳工艺参数的确定 | 第44-48页 |
| ·合成阶段源极电压的确定 | 第44-45页 |
| ·合成阶段试样电压的确定 | 第45-46页 |
| ·工作气压的确定 | 第46页 |
| ·合成阶段保温时间的确定 | 第46-47页 |
| ·合成阶段Ar/N_2 流量比的确定 | 第47-48页 |
| ·合成阶段保温温度的确定 | 第48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 TiN渗镀层表面形貌和微观组织的分析与研究 | 第50-75页 |
| ·源极电压对TiN 渗镀层的影响 | 第50-53页 |
| ·TiN渗镀层XRD分析 | 第50-51页 |
| ·表面形貌分析 | 第51页 |
| ·TiN渗镀层能谱分析 | 第51-52页 |
| ·TiN渗镀层外观和厚度分析 | 第52页 |
| ·TiN渗镀层表面显微硬度分析 | 第52-53页 |
| ·渗钛阶段试样电压对TiN 渗镀层的影响 | 第53-57页 |
| ·TiN渗镀层XRD分析 | 第53-54页 |
| ·表面形貌分析 | 第54-55页 |
| ·TiN 渗镀层能谱分析 | 第55页 |
| ·TiN 渗镀层外观和厚度分析 | 第55-56页 |
| ·TiN渗镀层表面显微硬度分析 | 第56-57页 |
| ·合成阶段试样电压对TiN 渗镀层的影响 | 第57-60页 |
| ·TiN渗镀层XRD分析 | 第57页 |
| ·表面形貌分析 | 第57-58页 |
| ·TiN 渗镀层能谱分析 | 第58页 |
| ·TiN 渗镀层外观和厚度分析 | 第58-59页 |
| ·TiN 渗镀层表面显微硬度分析 | 第59-60页 |
| ·工作气压对TiN 渗镀层的影响 | 第60-63页 |
| ·TiN 渗镀层XRD 分析 | 第60页 |
| ·表面形貌分析 | 第60-61页 |
| ·TiN 渗镀层能谱分析 | 第61-62页 |
| ·TiN 渗镀层外观和厚度分析 | 第62页 |
| ·TiN 渗镀层表面显微硬度分析 | 第62-63页 |
| ·保温时间对TiN 渗镀层的影响 | 第63-66页 |
| ·TiN渗镀层XRD分析 | 第63页 |
| ·表面形貌分析 | 第63-64页 |
| ·TiN 渗镀层能谱分析 | 第64-65页 |
| ·TiN 渗镀层外观和厚度分析 | 第65页 |
| ·TiN 渗镀层表面显微硬度分析 | 第65-66页 |
| ·保温温度对TiN 渗镀层的影响 | 第66-69页 |
| ·TiN 渗镀层XRD 分析 | 第66页 |
| ·表面形貌分析 | 第66-67页 |
| ·TiN 渗镀层能谱分析 | 第67-68页 |
| ·TiN 渗镀层外观和厚度分析 | 第68页 |
| ·TiN 渗镀层表面显微硬度分析 | 第68-69页 |
| ·Ar/N_2 流量比对TiN 渗镀层的影响 | 第69-72页 |
| ·TiN 渗镀层XRD 分析 | 第69页 |
| ·表面形貌分析 | 第69-70页 |
| ·TiN 渗镀层能谱分析 | 第70-71页 |
| ·TiN 渗镀层外观分析 | 第71页 |
| ·TiN 渗镀层表面显微硬度分析 | 第71-72页 |
| ·结果讨论 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章TiN渗镀层结构及磨损试验研究 | 第75-84页 |
| ·最佳工艺的TiN 渗镀层结构 | 第75-78页 |
| ·TiN渗镀层表面宏观分析 | 第75页 |
| ·TiN 渗镀层的显微组织分析 | 第75-77页 |
| ·TiN渗镀层的成分分布 | 第77页 |
| ·TiN渗镀层的硬度分布 | 第77-78页 |
| ·最佳工艺TiN 渗镀层的磨损试验 | 第78-83页 |
| ·磨损试验条件 | 第78页 |
| ·磨损试验结果与分析 | 第78-81页 |
| ·相同磨损条件下磨损对比分析 | 第78-80页 |
| ·不同粒度砂纸磨损下TiN 渗镀层的磨损对比 | 第80-81页 |
| ·不同载荷下TiN 渗镀层的磨损对比 | 第81页 |
| ·磨损形貌及分析 | 第81-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第七章TiN渗镀层电化学腐蚀性能的研究 | 第84-94页 |
| ·电化学腐蚀研究方法 | 第84-87页 |
| ·电化学腐蚀的概念 | 第84-86页 |
| ·电化学研究测试装置及条件 | 第86-87页 |
| ·腐蚀速度测定方法 | 第87页 |
| ·试验结果与讨论 | 第87-93页 |
| ·在lmol/LH_2SO_4 溶液中的腐蚀结果与分析 | 第87-89页 |
| ·在3.5%的NaCl 溶液中的腐蚀结果与分析 | 第89-91页 |
| ·在4%的NaOH 溶液中的腐蚀结果与分析 | 第91-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 第八章 结论与展望 | 第94-97页 |
| ·结论 | 第94-95页 |
| ·展望 | 第95-97页 |
| ·双辉等离子合成TiN 渗镀层技术的应用前景 | 第95-96页 |
| ·存在的问题与改进方向 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-104页 |
| 致谢 | 第104-105页 |
| 作者在攻读硕士期间主要研究成果 | 第105页 |
